半導體產業網消息：中晟光電設備（上海）股份有限公司（以下簡稱中晟光電）早在 2016-2017 年就與國內深紫外 LED 領域處于領先地位的杰生半導體共同開發和產業化了首臺國產深紫外 MOCVD 設備，ProMaxy® UV。近日，記者從中晟光電獲悉，目前杰生半導體已有 4 臺中晟光電深紫外 MOCVD 設備，用于消毒/殺菌醫療，白色家電，水凈化等深紫外 LED 應用的大規模外延生產。

 

隨著深紫外 LED 應用的不斷推廣，對功率轉化效率，良品率，及生產成本等提出了更高的要求。針對深紫外 LED 外延生長 AlN（鋁氮）的材料晶體質量，表面形貌特征，及裂紋控制，對提高功率轉化效率和良品率具有重大的影響，中晟光電在ProMaxy® UV 自主創新的核心技術的基礎上，對反應腔的溫場控制，反應氣體的傳輸及均勻分布等技術進行了進一步創新和優化，建立了既可外延生產高質量的 AlN 基板，又能擴大產能（至少 15x2），降低生產成本新的 MOCVD核心技術。為進一步降低設備成本和提高產能，中晟光電于又推出了可配置 4 個反應腔的ProMaxy® UV的機型。該機型既可每腔獨立外延生產深紫外 LED 全結構，也能分腔集成外延生產 AlN 基板和 LED 結構。
 

“我們率先評估驗證了中晟光電新的 MOCVD 技術和多腔配置的機型，不僅獲得了滿足大規模生產所需的高質量 AlN 基板，而且顯著提高了產能，降低了外延生產成本。“杰生半導體有限公司董事長康健說到，”杰生半導體很欣慰中晟光電能通過持續創新開發新技術和提供新機型滿足深紫外 LED 規模生產日益增長的需要，是值得信賴的合作伙伴。“。目前國內多家客戶均已采用了中晟光電新的 MOCVD 技術，獲得了高質量、低成本的 AlN 基板，如表面特征 Rq<0.5nm，邊緣裂紋控制在<2mm。
 

中晟光電ProMaxy® UV 產品及新技術的突破獲得國內客戶和市場的認可，已成為 2020 年以來深紫外 LED 產能擴充和技術研發的主要機型，并獲得了上海市高新技術成功轉化項目證書。“我們還將會通過持續的創新，提供新的技術解決方案，來滿足深紫外 LED 技術發展和規模生產不斷增長的需求。” 中晟光電董事長陳愛華博士強調地說到，“我們為能和客戶一起共同推動對人類健康、綠色環保等有廣泛應用前景的深紫外 LED 產業發展深感榮幸和自豪。”