半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉,日前,湖北省宜都市舉行全市2022年6月重大項(xiàng)目開(kāi)工暨湖北中用電子新材料有限公司年產(chǎn)10000噸電子氣體項(xiàng)目開(kāi)工儀式。本次開(kāi)工項(xiàng)目35個(gè),總投資105億元。
消息顯示,湖北中用電子新材料有限公司生產(chǎn)的相關(guān)含氟電子氣體及混配氣是電子信息材料領(lǐng)域?qū)S貌牧?,主要用于半?dǎo)體行業(yè)的清洗、蝕刻、摻雜、成膜等工藝。該項(xiàng)目由湖北中用電子新材料有限公司投資建設(shè),項(xiàng)目選址宜都化工園,總投資21.6億元,分兩期建設(shè)。
據(jù)悉,項(xiàng)目一期投資5.6億元,年生產(chǎn)3500噸電子氣體,預(yù)計(jì)2023年8月建成投產(chǎn);項(xiàng)目二期計(jì)劃投資16億元,占地面積100畝,預(yù)計(jì)2025年建設(shè)年產(chǎn)6500噸新型含氟電子氣體生產(chǎn)裝置,兩期合計(jì)產(chǎn)能10000噸/年。