至純科技發布公告稱，擬向不超過35名特定投資者，定增募資18億元，扣除發行費用后，4億元用于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發及產業化項目，1.6億元用于至純北方半導體研發生產中心項目，7億元用于啟東半導體裝備產業化基地二期項目，剩余5.4億元用于補充流動資金或償還債務。

對于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發及產業化項目。公告指出，本次項目建成后將成為公司高階制程單片濕法裝備及零部件研發與產業化基地，在設計、制造及研發上實現從成熟制程往高階先進制程的路徑，裝備與核心零部件將形成雙向協同，項目達成后將形成高階制程單片濕法模塊年產100套，各類零部件年產近2,000套，進一步提高生產規模和產品產能，是公司戰略目標達成的重要支撐。

至純北方半導體研發生產中心項目的實施將擴大公司生產規模、增強公司產品下游應用領域，同時針對北方客戶需求對產品進行定制化研發以提升產品競爭力，鞏固并提升公司的行業地位。本項目達產后，公司預計將實現年產系統集成及支持設備30套、半導體濕法設備15臺、半導體零部件2,610套的生產能力。

啟東半導體裝備產業化基地二期項目主要用于研發并量產爐管與涂膠顯影等集成電路設備、光伏制絨清洗設備等泛半導體工藝設備，以及設備配套核心零部件等產品。本次項目建成并達成后，將形成年產爐管、涂膠顯影等集成電路設備50套，光伏工藝設備120套，面板制程設備10套，系統集成及工藝設備逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生產規模。