1月11日，廣東省能源局發(fā)布廣東芯粵能半導體有限公司“面向車規(guī)級和工控領(lǐng)域的碳化硅芯片制造項目”節(jié)能報告的審查意見：項目采用的主要技術(shù)標準和建設(shè)方案符合國家相關(guān)節(jié)能法規(guī)及節(jié)能政策的要求，原則同意該項目節(jié)能報告。

該項目主要建設(shè)內(nèi)容包括：建設(shè)年產(chǎn)24萬片6英寸碳化硅基晶圓芯片生產(chǎn)線，主要建構(gòu)筑物包括生產(chǎn)廠房、生產(chǎn)調(diào)度廠房、研發(fā)廠房、綜合動力站、綜合倉庫、硅烷站、化學品庫、廢水處理站、危險品庫、大宗氣站等，主要設(shè)備包括光刻機、涂膠顯影機、刻蝕機、烘箱、高溫氧化爐管、高溫激活爐管、清洗機、冷水機組、純水制備系統(tǒng)、燃氣鍋爐等。

項目能耗量和主要能效指標：項目建成投產(chǎn)后，年綜合能耗不高于10277噸標準煤（當量值），其中年電力消耗量不高于6450萬千瓦時、天然氣消耗量不高于175萬立方米；項目集成電路晶圓制造單位產(chǎn)品電耗不高于0.72千瓦時/平方厘米。

2022年11月21日，廣東芯粵能半導體有限公司芯片制造項目潔凈室啟動。

（來源：集微網(wǎng)）