在相關政策支持及設備商自身努力的雙重推動下，企業相關業務營收也高速增長，半導體設備國產化率也在不斷提高， CINNO Research統計數據表明，2022年中國大陸設備商半導體裝備業務營收排名TOP10合計近300億元，同比增長56%，業績十分亮眼。

入圍2022年中國大陸上市公司半導體設備業務營收排名的TOP10與2021年TOP10設備商相同，沒有新增。具體來看，北方華創作為國內半導體設備商龍頭企業，2022年半導體營業收入120億，穩居排名第一， 中微公司排名第二，盛美上海排名第三，長川科技排名第四，同2021年排名。2022年完成上市的拓荊科技以全年16.9億元的營收由2021年的排名第九躍進至第五，同樣2022年上市的華海清科以全年16.5億元的營收由2021年的排名第八前進至第六，兩家公司全年營收同比增長均超過100%。

圖片2022年中國大陸上市公司半導體設備業務營收排名，來源：CINNO Research

注：上述排名包含集成電路前道制造、后道封測及LED等功率器件設備商，不含光伏行業設備商

Top 1 北方華創

中國大陸的龍頭半導體設備商，主營半導體裝備、真空裝備、電子元器件等，其半導體業務覆蓋了刻蝕、沉積、清洗等主要半導體制造設備，2022年半導體裝備相關營收120.8億元，同比增長52%，穩居中國大陸榜首位置。

Top 2 中微公司

中微公司專注于半導體刻蝕設備和沉積設備，2022年半導體裝備相關營收47.4億元，同比增長52%。

Top 3 盛美上海

盛美上海以半導體清洗設備和先進封裝濕法設備為核心，近年開始進軍沉積設備，2022年半導體裝備相關營收27.6億元，同比增長78%。

Top 4 長川科技

長川科技主營半導體測試設備，包括測試機、分選機、探針臺等，2022年半導體裝備相關營收25.8億元，同比增長70%。

Top 5 拓荊科技

拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，于2022年4月上市，2022年半導體裝備相關營收16.9億元，同比增長122%。

Top 6 華海清科

華海清科主營化學機械拋光設備，適用于晶圓制造及先進封裝的關鍵制程，于2022年6月上市，2022年半導體裝備相關營收16.5億元，同比增長105%。

Top 7 芯源微

芯源微主營半導體晶圓制造中的濕制程設備，包括涂膠顯影、刻蝕、清洗設備等，2022年半導體裝備相關營收13.6億元，同比增長67%。

Top 8 新益昌

新益昌主營業務為封裝用固晶機、電容老化測試設備等，其在中國大陸LED固晶機領域有領先地位，2022年半導體裝備相關營收11.3億元，同比增長1%。

Top 9 華峰測控

華峰測控主營業務為半導體自動化測試系統的研發、生產和銷售，產品主要用于模擬、數模混合、分立器件和功率模塊等集成電路的測試，2022年半導體裝備相關業務營收10.7億元，同比增長22%。

Top 10 至純科技

至純科技主營業務包括高純工藝集成系統、半導體濕制程設備、光傳感及光器件等，2022年半導體裝備相關業務營收7.9億元，同比增長11%。

（來源：CINNO Research）