6月28日,華海清科股份有限公司(簡稱“華海清科”)集成電路高端裝備研發及產業化項目奠基儀式在北京市亦莊舉行。
華海清科董事長、首席科學家路新春致辭中表示,華海清科著力打造“裝備+服務”雙輪驅動的平臺化發展戰略,致力于為半導體領域企業提供先進設備及工藝集成解決方案。本項目由子公司華海清科(北京)科技有限公司負責,用于開展高端半導體設備研發及產業化,將進一步擴大公司生產經營規模。未來,華海清科將永葆赤子之心、奮斗之心,與各位股東、廣大客戶、合作伙伴們攜手同行、共贏發展,合力打造完整、安全、可靠的產業鏈。
今年年初,華海清科發布公告稱,公司全資子公司華海清科(北京)科技有限公司擬在北京經開區實施“華海清科集成電路高端裝備研發及產業化項目”,合計投資金額8.18億元。
據馬駒橋鎮政府官方發布平臺“魅力馬橋”消息,該項目位于北京通州馬駒橋鎮智能制造基地,主要涉及化學機械拋光(CMP)設備、減薄機的研發和產業化。項目達產后,將具備28納米以下先進制程CMP設備研制能力,以及每月20萬片12寸再生晶圓代工能力。
(來源:中國證券報、CINNO)