據(jù)“吳中發(fā)布”公眾號消息,7月24日,清研半導體高品質碳化硅單晶材料及裝備項目簽約儀式在澹臺湖畔舉行,蘇州清研半導體科技有限公司正式落戶吳中經開區(qū),未來將投資50億元用于第三代半導體材料的研發(fā)與產業(yè)化。
資料顯示,蘇州清研半導體科技有限公司是一家SiC襯底生產廠商,由清華大學校友團隊聯(lián)合產業(yè)屆資深人士發(fā)起創(chuàng)立,擁有近10名畢業(yè)于清華的博士和碩士研發(fā)隊伍,致力于將高質量SiC襯底產業(yè)化、高良率化、低成本化。公司首創(chuàng)MPVT工藝(雙系統(tǒng)),具有核心專利,實現(xiàn)單晶無缺陷生長并利用國產熱場材料實現(xiàn)高質量SiC晶體生長。此外,公司突破了LPE工藝,優(yōu)化助溶劑、接液判定裝置等。