近日,晶盛機電在互動平臺表示,公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底工藝和技術,公司通過自有籽晶經過多輪擴徑,成功生長出8英寸N型碳化硅晶體,解決了8英寸碳化硅晶體生長過程中溫場不均,晶體開裂、氣相原料分布等難點問題。公司建設了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環節的研發實驗線,通過持續加強技術創新和工藝積累,加快碳化硅襯底材料的發展進程。
近日,晶盛機電在互動平臺表示,公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底工藝和技術,公司通過自有籽晶經過多輪擴徑,成功生長出8英寸N型碳化硅晶體,解決了8英寸碳化硅晶體生長過程中溫場不均,晶體開裂、氣相原料分布等難點問題。公司建設了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環節的研發實驗線,通過持續加強技術創新和工藝積累,加快碳化硅襯底材料的發展進程。