新科技時代背景下，人工智能、能源環保、自動駕駛等需求驅動下，以氮化鎵、碳化硅等為代表的第三代半導體材料迎來廣闊的發展前景，成為全球的機會和關注焦點。

當前，能源技術革命從電力高端裝備的發展逐步向由材料革命的發展來帶動和引領，第三代半導體有望掀起綠色經濟革命，助力以汽車電子、光儲、風電為代表的新能源產業和消費電源等領域高效電能轉換。其中，碳化硅作為第三代半導體產業發展的重要基礎材料，因其優異的耐高壓、耐高溫、低損耗等性能，能夠有效滿足電力電子系統的高效率、小型化和輕量化要求。有望成為未來最被廣泛使用的制作半導體芯片的基礎材料。特別是在新能源汽車、光伏發電、軌道交通、智能電網等領域具有明顯優勢。

碳化硅產業鏈中襯底材料是產業鏈的基礎，外延材料是器件制造的關鍵，也是產業鏈主要價值所在。碳化硅襯底的技術壁壘最高，碳化硅襯底生產難度最高。目前碳化硅襯底的產業化仍面臨一些技術難題，需要進行深入研究和探索。

碳化硅襯底產業化的關鍵技術研究是一個復雜且具有挑戰性的任務，需要多方面的合作。為了形成“產學研用”協同創新機制，突破共性技術難題，提升我國第三代半導體材料生產企業的制備技術及智能制造能力，加強合作，推動碳化硅材料的應用拓展和商業化進程。

2023年8月18日下午將開啟主題為“碳化硅襯底材料與關鍵技術”的線上直播——強芯沙龍 | 第三代半導體產業發展策略沙龍研討會，邀請到產業鏈上下游研究機構專家、廠商代表及業界同仁等共同深入研討，共同探討破局之道，誠摯邀請您參與。

本次直播邀請到來自牛津儀器、浙大杭州科創中心、中電科半導體材料有限公司的實力派代表專家嘉賓坐鎮直播間，分享大尺寸碳化硅單晶生長、襯底材料技術、等離子拋光技術等熱點技術最新進展動態與趨勢。

碳化硅襯底材料的制備包括原料合成、晶體生長、晶錠加工、晶棒切割、研磨拋光等環節，仍有諸多技術難點待突破，直播還將圍繞8英寸技術難點與產業化、國產化裝備、車規級器件應用需求等熱點話題展開互動探討。

[嘉賓簡介]

主持人：趙璐冰博士--第三代半導體產業技術創新戰略聯盟副秘書長

報告嘉賓：韓學峰--浙大杭州科創中心

報告主題：基于數值模擬的大尺寸碳化硅單晶生長研究

韓學峰，博士，研究員，浙大杭州科創中心“求是科創學者計劃”入選者，2022年浙江省海外高層次人才引進計劃入選者。長期從事大尺寸碳化硅與單晶硅的模擬仿真與生長技術研究。浙江省科技廳“尖兵”研發攻關計劃項目參與單位負責人，杭州市領軍型創新團隊核心成員，主持國家自然科學基金青年項目和企業橫向項目。發表SCI論文19篇，其中第一作者及通訊作者10篇，長期受邀擔任Journal of Crystal Growth、Japanese Journal of Applied Physics、Crystal Research and Technology、Crystals、CrystEngComm等SCI期刊審稿人，并擔任Crystals期刊客座編輯。

報告嘉賓：馬康夫--中電科半導體材料有限公司SiC材料技術專家/山西爍科晶體有限公司總經理助理

報告主題：碳化硅襯底材料技術及應用淺析

馬康夫，博士，高級工程師，現任中電科半導體材料有限公司SiC材料技術專家，山西爍科晶體有限公司總經理助理。從事SiC材料研發多年，承擔及參與省部級項目10余項。獲山西省“三晉英才-青年優秀人才”稱號，獲中國電子科技集團公司科技進步一等獎1項，三等獎1項。在國內外發表相關研究論文10余篇，申請專利10余項。

報告嘉賓：黃承揚博士--牛津儀器等離子技術部制程技術與業務拓展經理

報告主題：等離子拋光技術--碳化硅的綠色成長加速器

黃承揚，博士，畢業于清華大學電機學院，發表過18篇論文； 擁有19項專利，曾經任職于工業技術研究院，并于2011年加入牛津儀器，擁有超過20年化合物半導體的研發經驗。主要專長在于microLED、III-V光電半導體制程，與GaN/SiC高功率器件。

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張女士（Vivi-zhang），13681329411， zhangww@casmita.com

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