近日，至純科技在接受機構調研時表示，公司濕法清洗設備可覆蓋28納米全工藝工序段并有重復訂單，在14及7納米制程也有數臺訂單交付客戶，公司在濕法清洗領域可實現國產替代。

據介紹，單片硫酸設備為濕法設備中難度最高的工藝機臺，至純科技S300 SPM機臺已交付給多家國內主流晶圓廠，并已經應用于國內頭部客戶的12英寸邏輯量產線，月產能最高可達6萬片次以上。單設備在用戶量產線上的累計產量已超過20萬片次，是為高階濕法設備國產替代進口的重要里程碑。至純科技表示，目前公司是國內單片硫酸設備達到上述單機臺量產指標的唯一廠商。

至純科技同時稱，公司濕法設備應用于成熟制程的產品線拓展有序，在部分邏輯用戶和第三代半導體用戶的產線滲透率持續提高。應用于先進制程的高階產品線，在訂單獲取的進度上受到用戶擴產進度影響有延后，但在高溫硫酸、FINETCH、單片磷酸等尚被國際廠商壟斷的機臺，公司交付和驗證進度都在國內領先。

至純科技同時從系統集成延伸至盈利能力更強的材料端，2022年初建成國內第一座電子級大宗氣供應工廠，目前已穩定運行一年多，每年可貢獻穩定的營收，這是國內完全自主建設的第一座ONSITE大宗氣供應工廠，至純科技表示，公司繼續在電子氣電子化學品方面拓展業務及品類，增加電子材料端的業務投入。