天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司”一種半導(dǎo)體設(shè)備及其晶圓傳輸腔室和晶圓傳輸方法“專利獲授權(quán)，授權(quán)公告日為11月14日，授權(quán)公告號為CN111261565B。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備及其晶圓傳輸腔室和晶圓傳輸方法，其中晶圓傳輸腔室包括，抽氣組件，用于從所述腔室本體中抽氣；標(biāo)記檢測組件，位于所述腔室本體中，用于檢測晶圓上的對準(zhǔn)標(biāo)記；定位校準(zhǔn)組件，位于所述腔室本體中，用于承載晶圓，帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，并在所述標(biāo)記檢測組件檢測到所述對準(zhǔn)標(biāo)記后，逐漸停止旋轉(zhuǎn)，使晶圓停止在一預(yù)設(shè)位置處。

據(jù)悉，本發(fā)明的有益效果在于，在對晶圓傳輸腔室抽真空的過程中通過標(biāo)記檢測組件檢測晶圓的對位標(biāo)記，通過定位校準(zhǔn)組件實(shí)現(xiàn)對晶圓的定位校準(zhǔn)，將原來分步進(jìn)行的步驟（晶圓定位校準(zhǔn)和腔室抽真空）合并在一個(gè)步驟中同時(shí)進(jìn)行，縮短了晶圓的傳輸時(shí)間，提高了機(jī)臺的使用效率。