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IFWS 2023│博睿光電梁超:面向高功率器件的超高導(dǎo)熱AIN陶瓷基板的研制及開發(fā)

日期:2023-12-11 閱讀:422
核心提示:高性能陶瓷基板具有優(yōu)異的機(jī)械、熱學(xué)和電學(xué)性能,在電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,可以支撐和固定半導(dǎo)體材料的基礎(chǔ)材料。其低

 高性能陶瓷基板具有優(yōu)異的機(jī)械、熱學(xué)和電學(xué)性能,在電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,可以支撐和固定半導(dǎo)體材料的基礎(chǔ)材料。其低介電常數(shù)、高機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性能優(yōu)異,能夠提高器件的工作性能和可靠性。在半導(dǎo)體領(lǐng)域中,它被用于制造高端功率器件、射頻器件、微波器件等。

梁超

近期,第九屆國際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS)&第二十屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA)于廈門召開。期間,“碳化功率器件及其封裝技術(shù)分會“上,江蘇博睿光電股份有限公司副總經(jīng)理梁超做了”面向高功率器件的超高導(dǎo)熱AIN陶瓷基板的研制及開發(fā)“的主題報告,分享了高性能陶瓷基板的研究進(jìn)展。

高性能陶瓷基板應(yīng)用涉及LED封裝、激光器件(LD)散熱器、第三代電力電子設(shè)備等領(lǐng)域。當(dāng)前高集成芯片卡脖子問題主要是熱管理,高性能陶瓷基板的研究方向涉及機(jī)械性能、導(dǎo)熱性能、電氣性能等,熱導(dǎo)率提升仍然是關(guān)注的焦點,熱導(dǎo)率提升導(dǎo)致抗彎強(qiáng)度大幅下降。報告分享了制程優(yōu)化、力學(xué)性能勻化、AlN基板表面拓?fù)鋬?yōu)化改進(jìn)、面向功率器件的超高韌性AlN基板的研究進(jìn)展,面向功率器件的超高韌性AlN基板的最新進(jìn)展,以及博睿DPC制程技術(shù)優(yōu)化。其中,對于制程優(yōu)化研究方面 研磨過程是導(dǎo)致基材的機(jī)械性能,無研磨工藝需要精確的尺寸控制,漿料配方、球磨工藝、鑄造工藝等,需要協(xié)同優(yōu)化。

報告指出,高性能AlN陶瓷襯底的國產(chǎn)化將有效推動中國功率半導(dǎo)體的發(fā)展;AlN襯底針對不同應(yīng)用場景的定向開發(fā)促進(jìn)了下游封裝技術(shù)的發(fā)展;將高性能AlN陶瓷基板與金屬化技術(shù)相結(jié)合,有助于開發(fā)高功率密度器件的封裝要求。

嘉賓簡介

梁超,博士,研究員高工,江蘇博睿光電有限公司副總經(jīng)理。先后入選“江蘇省333高層次人才培養(yǎng)工程”、江蘇省六大人才高峰、“千百十”計劃高層次創(chuàng)新領(lǐng)軍人才;獲江蘇省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎1項、南京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎1項等。主要研究方向第三代半導(dǎo)體光電材料,在發(fā)光材料方向開發(fā)出LED用高性能鋁酸鹽、硅酸鹽體系多個色系熒光粉,為高光品質(zhì)照明、全光譜照明整體解決方案提供支撐;研究并開發(fā)出具有高導(dǎo)熱系數(shù)的AlN陶瓷基板及配套關(guān)鍵技術(shù)。共申請發(fā)明專利68件,授權(quán)發(fā)明專利54件(3件PCT專利分別于美國、韓國獲得授權(quán)),發(fā)表SCI收錄論文7篇,EI收錄論文6篇。

公司簡介

江蘇博睿光電股份有限公司成立于2009年9月,公司專業(yè)從事新型光電材料的研究、開發(fā)和應(yīng)用工作,是國內(nèi)LED熒光粉領(lǐng)域的龍頭企業(yè),也是包括昕諾飛、歐司朗、三星等國際照明企業(yè)的熒光粉全球主要供應(yīng)商之一和戰(zhàn)略合作伙伴。近年來,公司緊跟半導(dǎo)體技術(shù)前沿發(fā)展,深度布局高性能稀土發(fā)光材料、界面連接材料、高導(dǎo)熱陶瓷基板、特殊結(jié)構(gòu)封裝等領(lǐng)域,在第三代半導(dǎo)體封裝材料領(lǐng)域,已形成科研開發(fā)、規(guī)模生產(chǎn)和專業(yè)化服務(wù)的完整體系,成為面向第三代半導(dǎo)體的光電材料專家。公司為國家重點專精特新小巨人企業(yè)、高新技術(shù)企業(yè)、蘇南國家自主創(chuàng)新示范區(qū)“瞪羚企業(yè)”、江蘇省最具成長性高科技企業(yè),建有江蘇省工程技術(shù)研究中心、江蘇省企業(yè)技術(shù)中心、國家博士后科研工作站等研發(fā)平臺,先后承擔(dān)國家發(fā)改委、江蘇省科技成果轉(zhuǎn)化等國家、省部級項目20余項,累計有效申請發(fā)明專利150余件,有效授權(quán)發(fā)明專利108件(40件PCT專利)。公司為江蘇省企業(yè)知識產(chǎn)權(quán)管理標(biāo)準(zhǔn)化示范先進(jìn)單位、南京市百強(qiáng)高新技術(shù)企業(yè)、南京市知識產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)、江寧高新區(qū)納稅大戶,屬于工業(yè)穩(wěn)增長和轉(zhuǎn)型升級成效明顯市內(nèi)企業(yè)。

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