國林科技(300786.SZ)作為國內大型臭氧系統設備龍頭，掌握臭氧系統設備的全套核心技術，產品涵蓋全系列臭氧發生器及其系統設備，廣泛應用于市政給水、工業廢水、煙氣脫硝、市政污水、空間消毒等。

據年報信息，近年來國林科技圍繞臭氧工藝積極進行下游多元化延伸，致力于打造臭氧領域綜合解決方案供應商。醫療健康領域，子公司國林健康成功研發電解水式臭氧發生器，部分健康品類產品的市場推廣正順利推進;半導體領域，公司系列產品已在多家下游頭部客戶中順利驗證;同時乙醛酸業務即將進入正式生產階段，市場拓展也正順利進行，未來下游多點開花有望打開成長空間。

在半導體領域，國林科技持續研發近5年，已成功生產出高濃度臭氧水發生器和高濃度臭氧氣體發生器兩種產品，分別應用于半導體清洗和薄膜沉積環節。公開資料顯示，當前我國半導體臭氧設備市場主要被美國MKS及德國安索羅斯等海外廠商占據，國內尚無量產企業。據公開披露，國林科技生產的半導體臭氧水發生器的臭氧水濃度可達80-150PPm，臭氧氣體發生器出氣濃度可達200-300mg/L，能夠滿足半導體工藝需求，同時已取得相應專利，產品性能已基本對標海外廠商。

根據公司公開交流，國林科技半導體專用臭氧設備已于2022年下半年送樣下游半導體清洗設備、薄膜沉積設備頭部企業及部分面板廠等，當前產品正順利驗證中，預計將于2024年實現小批量供貨，半導體級臭氧設備國產替代進程可期。

（來源：中國經濟新聞網）