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比亞迪半導體申請半導體器件終端結構、制備方法及半導體器件專利

日期:2024-01-09 閱讀:240
核心提示:據國家知識產權局公告,比亞迪(002594)半導體股份有限公司申請一項名為半導體器件終端結構、制備方法及半導體器件,公開號CN11

 據國家知識產權局公告,比亞迪002594)半導體股份有限公司申請一項名為“半導體器件終端結構、制備方法及半導體器件“,公開號CN117374099A,申請日期為2022年6月。專利摘要顯示,本發(fā)明涉及一種半導體器件終端結構、制備方法及半導體器件,該終端結構包括:漏極電極,位于漏極電極上的襯底,位于襯底上的外延層,位于外延層上的金屬場板和鈍化層;外延層遠離襯底一側的兩端還分別設置有主結區(qū)和截止環(huán),主結區(qū)和截止環(huán)之間的外延層內沿外延層的豎向依次設置至少兩層場限環(huán)結構,每層場限環(huán)結構均包括沿外延層橫向分布的至少一個場限環(huán),靠近襯底的場限環(huán)結構中場限環(huán)的數量小于靠近金屬場板的場限環(huán)結構中場限環(huán)的數量且每層場限環(huán)結構最外側的場限環(huán)沿襯底至金屬場板的方向呈階梯狀設置;鈍化層從主結區(qū)起覆蓋至截止環(huán)的部分區(qū)域,金屬場板覆蓋于截止環(huán)上未被鈍化層覆蓋的區(qū)域。本發(fā)明可以提高擊穿電壓及器件的可靠性。

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