據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,長鑫存儲技術(shù)有限公司申請一項名為“晶圓級封裝方法“,公開號CN117690804A,申請日期為2022年9月。
專利摘要顯示,本公開實施例提供一種晶圓級封裝方法,包括:提供晶圓;在晶圓中形成電連接結(jié)構(gòu),電連接結(jié)構(gòu)底部位于晶圓中,晶圓頂面露出電連接結(jié)構(gòu)的頂部;在晶圓上形成芯片,芯片與電連接結(jié)構(gòu)頂部電接觸;在晶圓上形成封裝結(jié)構(gòu),芯片位于封裝結(jié)構(gòu)中;對晶圓底面進(jìn)行第一背磨工藝,以露出電連接結(jié)構(gòu)的底部;形成導(dǎo)電結(jié)構(gòu),導(dǎo)電結(jié)構(gòu)與電連接結(jié)構(gòu)底部接觸。本公開實施例至少有利于提高晶圓封裝的良率。