2024年3月6日，盛美上海濕法設備4000腔順利交付。盛美上海于2021年10月順利交付濕法設備2000腔， 2022年11月突破3000腔，如今4000腔的里程碑也已達成。盛美上海消息顯示，盛美上海總經理王堅表示:“盛美的清洗設備可以做邏輯與存儲90%以上的清洗工藝，我們可以期待很快濕法設備突破5000腔。”
盛美半導體設備（上海）股份有限公司成立于2005年，是上海市政府科教興市項目重點引進的集成電路裝備企業。集研發、設計、制造、銷售于一體，為全球客戶提供高端半導體設備。主要產品有單晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備、前道涂膠顯影設備及PECVD設備等。
