“化合物半導體產業是一條全新賽道，有巨大的想象空間。”上海邦芯半導體科技有限公司CTO梁潔說，只要付出努力，就會有回報。“發展化合物半導體是提升產業基礎能力、建立未來戰略優勢的關鍵所在。”寧波潤華全芯微電子設備有限公司創始人汪鋼說，具有巨大想象空間的化合物半導體產業，將給材料、裝備等行業帶來巨大的市場增長空間。

2024年4月8日至11日，國內化合物半導體領域規模最大、規格最高的標桿性展會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導體產業博覽會將在武漢光谷舉行。

多位即將參會、參展的科研界、產業界代表在接受長江日報記者采訪時表達了對化合物半導體產業的信心，以及對即將到來的論壇的期待，“在這里，我們既能了解現在，又能看見未來”。

化合物半導體有巨大的想象空間

近年來，伴隨著硅半導體材料主導的摩爾定律逐漸走向其物理極限，同時硅也滿足不了無線通信、高功率電子和光電子等新需求快速發展的需要，以砷化鎵（GaAs）、氮化鎵（GaN）、碳化硅（SiC）等為代表的化合物半導體產業作為典型的新興產業，正處在產業快速上升期。

SPTS是一家總部位于英國的蝕刻和沉淀工藝解決方案及設備供應商，向全球領先的半導體設備制造商和研究機構提供先進的晶圓加工解決方案，在化合物半導體領域處于引領者位置。“新時期發展化合物半導體產業將是半導體產業的重要發展方向。”公司中國區銷售負責人易義軍說。

SPTS在化合物半導體領域處于引領者位置。企業供圖

在他看來，化合物半導體產業相對而言投資規模小、市場前景好、具備“換道超車”的機會，尤其是對新能源汽車、光電子產業、光纖通信網絡以及5G通信等新興市場有廣泛的應用價值。

“相比傳統的硅基半導體，化合物半導體本身的特性決定了它將具有巨大的想象空間，硅基半導體做不到的，化合物半導體有可能做到。”梁潔介紹，化合物半導體的快速發展對設備和工藝提出了新的挑戰，“有想象空間，有挑戰，不受限，這就是我們發力化合物半導體產業的原因所在”。

據介紹，致力于為集成電路及泛半導體行業提供高性價比的半導體設備，邦芯半導體專注于第三代化合物半導體領域，研發了眾多擁有自主知識產權的產品，如6/8寸刻蝕機和6/8寸鎢薄膜沉積設備，填補國內諸多領域空白。

2016年成立的全芯微電子同樣是一家半導體裝備及工藝方案提供商，推出了勻膠顯影機、去膠剝離機、刻蝕清洗機等一系列高端半導體裝備。在汪鋼看來，化合物半導體行業快速發展背后，離不開更多設備的升級迭代與技術創新，“與之相關的行業都將擴大增長空間”。

“始終聚焦新型電子器件制造領域，持續提供有競爭力的工藝方案和設備支撐，與上下游企業一同為化合物產業發展助力。”汪鋼說。

光谷化合物半導體產業生態加速形成

當前，光谷一批化合物半導體項目加快突破。

先導科技集團高端化合物半導體材料及芯片產業化基地項目近日簽約落地光谷。公司董事長朱世會說，將加大與武漢高校院所科研合作，推動半導體材料研發不斷取得新突破。

光谷科學島上，總投資200億元的長飛先進武漢基地正加快建設，項目一期預計今年7月封頂，建成后可年產36萬片6英寸碳化硅晶圓及外延。

光谷“強引力”背后，完整的產業生態和強大的研發能力是支撐。作為國內四大集成電路產業基地之一，光谷已聚集一批集成電路產業龍頭企業，形成了存儲芯片、化合物半導體芯片為兩大產業方向，涵蓋設計、制造、裝備、材料及分銷、模組等產業鏈關鍵環節的產業集群。。

采訪中，記者了解到不少企業都已與湖北九峰山實驗室建立合作關系。作為湖北省十大實驗室之一，2021年成立的九峰山實驗室聚焦化合物半導體的研發與創新，已建成全球化合物半導體產業最先進、規模最大的科研及中試平臺。

“和九峰山實驗室合作很多年，你中有我，我中有你。”梁潔介紹，作為半導體設備提供商，邦芯半導體為九峰山實驗室提供了多款先進的加工設備，與此同時，邦芯半導體生產的設備也在九峰山實驗室完成了檢測和驗證并得以進一步改進，“我們不是甲乙方的關系，而是合作伙伴，共贏關系”。

作為封裝設備國產原廠，南京屹立芯創半導體科技有限公司除泡品類全線設備對化合物半導體的應用領域適用非常廣泛，能大幅提升產品穩定性及良率問題。目前，該公司與九峰山實驗室達成濾波器產品領域的合作，晶圓級貼壓膜系統創新的真空下貼膜和自主開發的加熱軟墊氣囊式壓合技術，有效解決因預貼膜在真空壓膜過程中產生氣泡或是干膜填覆率不佳的問題。

屹立芯創除泡品類全線設備對化合物半導體的應用領域適用非常廣泛。企業供圖

“九峰山實驗室作為高規格新型研發機構，發展迅速，影響力深遠。”屹立芯創相關負責人說，作為國產設備原廠，和九峰山實驗室的合作也能凸顯“為中國芯，造屹立器”的企業使命。

“九峰山實驗室是SPTS在中國化合物半導體領域重要的戰略合作伙伴。”易義軍介紹，SPTS與九峰山實驗室在多個化合物半導體項目上有著全面深入的合作，“九峰山實驗室先進開放的中試平臺，構建了化合物半導體產業鏈上下游緊密合作的聯合體，解決了眾多高校和企業在產品研發和產業化過程中的諸多堵點、斷點和難點，將加速產品和創新成果落地”。

伴隨著越來越多企業的到來，光谷化合物半導體產業生態正在加速形成。目前，以九峰山實驗室為核心的九峰山科技園正在加快推進，園區內，投資50億元的化合物半導體孵化加速及制造基地計劃在明年投入使用，力爭3年內引育企業100家。

九峰山論壇有著多方面、多維度的意義

據了解，2024九峰山論壇采取“1主+8專+多場行業專題會+多場展邊會”模式，將由10多位國內外院士領銜出席，圍繞化合物半導體關鍵材料、化合物半導體核心裝備、EDA工具與生態鏈、光電子技術、功率電子技術、無線電子技術、先進半導體檢測技術與標準、化合物半導體投融資趨勢等方向，共計150余位嘉賓分享行業報告，全面覆蓋產業發展前沿熱點。

“我們希望能在論壇中和多方生態鏈企業交流先進技術，提升設備化合物半導體針對性解決方案，打造標桿案例。”屹立芯創相關負責人表示。

繼首屆九峰山論壇之后，梁潔將再度參加今年的盛會。去年，他趁在分論壇做分享嘉賓的空隙，專程到主論壇聽其他嘉賓的演講，“九峰山論壇既有產業界的嘉賓，也有來自學術界的，產業界談的是現在，學術界講的是未來，對行業發展有很大的指導意義，讓我們更清楚第三代半導體的發展方向”。

首屆九峰山論壇人氣火爆。九峰山實驗室供圖

去年的論壇上，梁潔認識了來自全國各地的許多優秀供應商，并與其中的一家武漢供應商達成了合作。“既提供了交流的平臺，又搭建了合作的橋梁，這場論壇有著多方面、多維度的意義。”他感慨。

本次九峰山論壇首次采用“展+會”的模式，論壇舉行的同時還將在光谷科技會展中心舉辦中國國際化合物半導體產業博覽會。除中國本土廠商以外，來自歐美等10多個國家的15家國際頂級企業參展。眾多國際龍頭企業齊聚中國展示最新技術與產品，在全球化合物半導體領域內也是首次。

作為九峰山實驗室重要的設備供應商，SPTS將在九峰山期間展示其在化合物半導體等應用領域的最新產品和工藝解決方案。“希望通過本次論壇加強與化合物半導體行業客戶之間的溝通與合作，共同探索發展新機遇，為公司未來發展注入新的動力。”易義軍說。

汪鋼受邀在九峰山論壇分享的同時，還將攜帶公司最新推出的單片式清洗機參展，這也是他第二次參加九峰山論壇。“相互交流學習，促進產業上下游協同發展。”他期待未來的九峰山論壇發展為全球最大的化合物半導體標桿性展會之一，吸引更多的海外客戶參展，“目前很多第三代半導體還是依賴海外設備制造，希望有越來越多這樣的盛會，讓更多人看到中國化合物半導體廠商的身影”。

“融合創新，聚力共贏，共同推動半導體產業的進一步發展，為世界科技的發展作出更大的貢獻。”恰如愛發科（蘇州）技術研究開發有限公司董事總經理楊秉君所期望的，一座化合物半導體的創新燈塔正在武漢點亮，燃遍全國、走向世界。

（來源：長江日報）