近日，光馳半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司投資建設(shè)的原子層鍍膜與刻蝕設(shè)備項(xiàng)目順利完成竣工驗(yàn)收。

寶山高新區(qū)消息顯示，原子層鍍膜與刻蝕設(shè)備項(xiàng)目位于寶山高新區(qū)07-17地塊，總投資5.48億元，占地面積50畝，總建筑面積6.44萬(wàn)㎡，其中一期建筑面積約3.8萬(wàn)㎡，涵蓋標(biāo)準(zhǔn)廠房、研發(fā)辦公樓等。項(xiàng)目主要致力新型電子元器件及設(shè)備制造，利用全球泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的調(diào)整與相關(guān)前沿研發(fā)的投入與技術(shù)整合，實(shí)現(xiàn)電子專用設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)化、規(guī)模化。

光馳半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司，作為光馳科技（上海）有限公司全資子公司。光馳科技自2000年入駐寶山高新區(qū)南部園區(qū)。2022年，光馳科技將傳統(tǒng)光學(xué)與半導(dǎo)體技術(shù)融合，于北部園區(qū)投資設(shè)立光馳半導(dǎo)體，進(jìn)一步提升制造空間與產(chǎn)能，開辟光學(xué)元器件向半導(dǎo)體集成光學(xué)轉(zhuǎn)變的新市場(chǎng)。項(xiàng)目預(yù)計(jì)達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)能將達(dá)到高精度原子層鍍膜機(jī)120臺(tái)和5臺(tái)刻蝕機(jī)。

2023年4月10日，光馳半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司半導(dǎo)體原子層鍍膜與刻蝕鍍膜項(xiàng)目一期正式封頂。