日前，日本三井化學宣布將在其巖國大竹工廠設(shè)立碳納米管 (CNT) 薄膜生產(chǎn)線，開始量產(chǎn)半導(dǎo)體最尖端光刻機的零部件產(chǎn)品（保護半導(dǎo)體電路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代產(chǎn)品）。

據(jù)悉，此種CNT薄膜可以實現(xiàn)92%以上的高EUV透射率和超過1kW曝光輸出功率的光阻能力。三井化學預(yù)期年產(chǎn)能力為5000張，生產(chǎn)線預(yù)計于2025年12月完工，可為ASML將推出的下一代高數(shù)值孔徑、高輸出EUV光刻機提供支持。