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北京大學(xué)申請金剛石基氮化物半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)制備方法專利,能夠得到高質(zhì)量且低熱阻的金剛石基氮化物半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)

日期:2024-07-01 閱讀:244
核心提示:天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,北京京運通科技股份有限公司申請一項名為一種熱絲CVD法金剛石爐的專利,公開號CN202410315500.8,申請

天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,北京京運通科技股份有限公司申請一項名為“一種熱絲CVD法金剛石爐“的專利,公開號CN202410315500.8,申請日期為2024年3月。

專利摘要顯示,本發(fā)明涉及公開了一種熱絲CVD法金剛石爐,該金剛石爐包括鍋爐以及位于鍋爐內(nèi)的基臺、襯板、熱絲和分水器;基臺的頂面朝向鍋爐的頂部,基臺的內(nèi)腔包括臨近頂面的冷卻腔,基臺遠離頂面的端部伸出鍋爐且具有與內(nèi)腔連通的開口;襯板設(shè)置于基臺的頂面上,襯板背離頂面的一側(cè)為金剛石生長面,熱絲位于襯板與鍋爐的頂部之間;分水器位于基臺的內(nèi)腔內(nèi),分水器臨近開口的一端具有進水口,分水器位于冷卻腔內(nèi)的端部具有與基臺的頂面相對的多個出水口和多個回水口,分水器的內(nèi)腔具有連通進水口與多個出水口的進水通道,分水器的外側(cè)壁與基臺的內(nèi)側(cè)壁之間具有與回水口連通的回流通道。該熱絲CVD法金剛石爐能夠降低金剛石因溫度不均勻產(chǎn)生的應(yīng)力。

本文源自:金融界

 

 

 

 

 

 

 

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