7月11日，凝聚“芯”動能，共筑“芯”高地——廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，微納院二期項目正式封頂，一批半導體項目現場簽約，為南海半導體產業發展注入“芯”動能。

活動當天，廣東微納院與華南師范大學工學部還舉行了合作簽約儀式，與一批南海企業達成產學研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，促進科教融合人才培養、成果轉化、創新示范深度融合。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰、佛山市副市長陳新文、南海區區長王勇及南海區相關部門、區內高校、科研院所、半導體產業上下游企業代表超180人參會。

中試平臺通線，一批項目簽約

南海半導體產業注入“芯”動能

廣東微納院是由佛山市、南海區兩級政府共同建設，中國科學院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業單位，聚焦芯片制造環節，搭建先進半導體工藝研發體系，形成半導體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試服務模式，為佛山市半導體產業強鏈延鏈、大灣區“芯”動能高質量發展提供技術平臺支撐。會上，廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規劃與建設情況。據介紹，平臺建成后，將具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。

廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規劃與建設情況。“希望廣東微納院繼續加強科研攻關和中試平臺工藝能力建設，努力實現引領性原創性技術突破，加快重大科技成果高效轉化和迭代應用，探索建立科技創新和產業創新互促互強的半導體向‘新’生態。”中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強表示。

自研究院成立以來，已為百余家科研院所、高校和企業提供技術服務和人才輸出，獲得了業界的廣泛認可，成為廣東半導體產業的重要支撐平臺之一。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰表示，中試平臺是連接實驗室與產業界的橋梁，希望廣東微納院繼續發揚創新引領精神，不斷提升產業輻射策源能力，為廣東省和大灣區半導體產業的蓬勃發展蓄勢賦能。

活動現場，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等12家企業、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協議。未來，廣東微納院“半導體材料外延與表征”、“半導體微納加工”兩大中試平臺將分別為合作企業提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術咨詢等多種中試服務。

“廣東微納院是一個出色的科創平臺。其憑借著卓越的科研實力、先進的實驗設施以及專業的科研人才隊伍，為科技創新和產業發展提供了強大的支撐和動力。在此前，企業已經與廣東微納院在許多領域達成了合作意向。”廣州市鴻利秉一光電科技有限公司簽約入駐半導體材料外延與表征中試平臺，研發總監任榮斌表示，在當前半導體激光芯片等領域的發展進程中，企業不可避免地遭遇了一定的技術瓶頸，依托研究院的中試平臺所提供的芯片定制、科研攻關等一系列專業服務，能為企業突破技術瓶頸、實現技術及產業化的實質性進展提供強大助力。

產業園建設提速

打造半導體產業集聚強磁場

依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產業孵化區，建設6萬平方米專業化半導體產業載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區潔凈面積最大、產業鏈覆蓋最全的專業化技術驅動型主題園區。活動舉行了簡單而隆重的二期產業孵化區封頂儀式，6家企業與廣東微納院簽訂了意向落戶協議。

“當前廣東微納院已構建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規劃，持續配備更多半導體產業相關設備，引進培育一批半導體上下游產業企業，打造成半導體全鏈條產業服務平臺。”王暉表示，在地方政府的支持規劃下，圍繞廣東微納院的臨近地塊都可以為企業落地提供支持，將有望打造形成全廣東省乃至華南地區最適合發展半導體產業的集聚區域。未來，廣東微納院將不斷擴展產業版圖，打造成為具有全國影響力的集產業孵化、人才培養、芯片制造等要素的科創平臺。

“廣東微納院是佛山重點支持建設的半導體科創平臺，對推動產業創新、構建產業生態、集聚產業發展起到示范引領作用，佛山將著力支持廣東微納院成為全國5個之一、全省20個之一的具有國際影響力的中試平臺。”佛山市副市長陳新文表示，希望研究院繼續發揮引領龍頭作用，深化半導體中試平臺加產業孵化運營和創新運營模式，為企業解決技術瓶頸和難題，推動佛山半導體產業向更高層次、更廣領域發展。佛山將繼續支持半導體產業發展，加大政策扶持力度，加強產業配套和基礎設施建設，積極構建“益曬你”服務體系，持續打造一流的營商環境，為科學家、企業家提供更加貼心、便捷高效的服務保障，共同攜手探索半導體領域的無限可能與無限機遇。