據佛山南海區科技局官微消息，7月11日，廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，微納院二期項目正式封頂，一批半導體項目現場簽約。

廣東微納院是由佛山市、南海區兩級政府共同建設，中國科學院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業單位，聚焦芯片制造環節，搭建先進半導體工藝研發體系，形成半導體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試服務模式。據介紹，平臺建成后，將具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。

活動現場，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等12家企業、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協議。未來，廣東微納院“半導體材料外延與表征”、“半導體微納加工”兩大中試平臺將分別為合作企業提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術咨詢等多種中試服務。

依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產業孵化區，建設6萬平方米專業化半導體產業載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區潔凈面積最大、產業鏈覆蓋最全的專業化技術驅動型主題園區。當日舉行了二期產業孵化區封頂儀式，6家企業與廣東微納院簽訂了意向落戶協議，三期項目規劃正在推進。