天眼查顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司“碳化硅晶體生長裝置”專利公布，申請公布日為2024年8月9日，申請公布號為CN118461121A。

本發明提供了一種碳化硅晶體生長裝置，涉及碳化硅單晶材料的制造技術領域，為解決坩堝內的粉體溫度均勻性差的問題而設計。碳化硅晶體生長裝置包括坩堝、感應線圈組件和蓋設于坩堝上方的蓋板，蓋板用于在蓋板的中心設置籽晶，坩堝內設置有至少一個的感應加熱件；感應加熱件具有封閉連續的外周面，且能夠在感應線圈組件的作用下產生感應渦電流。本發明提供的碳化硅晶體生長裝置可以改善坩堝內的粉體溫度均勻性。