9月6日，零部件本土化新質生產力研討會暨協同創新戰略合作簽約儀式在上海浦東成功舉辦，萬業企業旗下上海凱世通半導體股份有限公司（以下簡稱凱世通）與瑟米肯（上海）半導體科技有限公司（以下簡稱瑟米肯）等多家國內集成電路零部件企業簽署戰略合作協議，對半導體產業新質生產力走出了新的范式。

過去的幾十年里，半導體產業屬于投入大、產出慢、周期長、卡點多的產業，隨著美國出口管制尤其是2022年10月7日新一輪管制以來，半導體制造環節中的很多設備都被卡脖子，例如光刻、離子注入、刻蝕、鍍膜設備。卡脖子之處需要突破的點多、攻克難度大，其中電子吸盤、射頻電源、PFG/TPFG等關鍵零部件，也成為制約整個半導體產業健康持續、自主可控發展關鍵瓶頸。

萬業企業總裁兼旗下凱世通董事長李勇軍博士表示，凱世通在離子注入領域早已布局，目前已基本實現國產離子注入機供應鏈自主可控。在上下游產業鏈的緊密協作下，凱世通多個關鍵零部件項目已開花結果。同時經過系列科技攻關與研發創新，凱世通產品測試性能表現優異，維護成本低，并已交付給客戶進行產線驗證。

元禾璞華董事總經理陳瑜表示，元禾璞華10年時間投資了200多家半導體、硬科技相關企業，覆蓋半導體產業鏈上下游的設計、制造、封測、設備、零部件和材料企業，其中40多家已經IPO。凱世通和瑟米肯都是元禾璞華的被投企業，今年在產品研發和客戶導入上均取得了很大的進展。凱世通作為半導體晶圓制造前道非常關鍵的離子注入機設備“鏈主”企業，一直在帶動瑟米肯等國產零部件廠商的項目定位、研發方向和測試驗證，解決供應鏈卡脖子問題。今天“鏈主”將射頻電源、PFG、靜電吸盤、陶瓷材料、MFC等關鍵部件企業聚合在一起，意義重大。陳瑜認為，零部件國產化的意義不僅在于供應鏈的安全、自主可控、解決卡脖子問題，而且將加速半導體設備的自主創新，從而為客戶提供更優質的產品及解決方案，為半導體產業協同升級、自主可控提供了一個新的范式。

瑟米肯董事長黨軍鋒表示，像射頻電源這樣的關鍵零部件卡脖子，主要有三個方面的原因：一是學科交叉、材料缺乏；二是能不能解構專業門類，將人才有效組織在一起；三是能不能有真正的測試環境，真正的工藝驗證，否則就是紙上談兵。過去，瑟米肯能夠連續獲得頭部FAB認可、取得Vendor code、成功實現供貨、成功通過全部工藝驗證，主要是得到了凱世通這個鏈主的支持，對產品需求信息、工藝參數要求、束流控制精度、相位鎖相精度等有了精準的了解，再通過不斷的測試、驗證、調整、迭代，才有了國產射頻電源的聚合、淬煉和創新！今天的研討會和戰略協同簽約活動，是進一步將鏈主+關鍵部件模式向更多同行推廣，相信后續會有更多的企業來學習、借鑒這樣的模式。這對國產關鍵部件廠商提升研發實力、進行升級迭代、滿足工藝要求，是一件大喜事！對整個半導體產業也將帶來深遠影響！

面向未來，相信此次戰略合作的簽約項目，包括微波等射頻電源、離子體噴槍、靜電吸盤材料、真空自動化機器人、超高能射頻加速器、高精度氣體流量計等多款關鍵零部件，能夠在鏈主凱世通的帶領下，為客戶提供性能更優、成本更低、自主可控的產品與服務解決方案，能夠為國產半導體帶來“芯”動力，填補“芯”空白。