近日，杭州富加鎵業科技有限公司6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線在杭州富陽開工建設。這是國內首條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線，與國際同時起步的6英寸單晶生長技術及更加適合量產的外延技術將“換道超車”，助力新型超寬禁帶半導體氧化鎵產業鏈高質量快速發展。

氧化鎵單晶可以通過熔體法生長，從而在制備成本、單晶質量、缺陷或尺寸等方面相對于第三代半導體碳化硅、氮化鎵材料及超寬禁帶半導體氮化鋁、金剛石材料有明顯優勢，從而成為大國競爭的關鍵材料。另外，氧化鎵材料的熱處理溫度及硬度均與單晶硅較為接近，從單晶硅器件線轉為氧化鎵器件線僅僅需要更換5%設備，相比而言，碳化硅材料硬度較大，且熱處理溫度較高，從單晶硅器件線轉為碳化硅器件線，需要更換25%設備。

考慮到現存單晶硅的器件線以6英寸及8英寸為主，氧化鎵單晶材料及外延片需要跨過6英寸門檻后才能進入產業化快車道。現階段，公司已經實現了6英寸導電型及絕緣型氧化鎵單晶襯底的制備，單晶外延技術也取得重要進展，已達到6英寸硅基器件線產業化門檻。

據了解，目前國際上僅僅有日本NCT（Novel Crystal Technology, Inc）有6英寸氧化鎵量產計劃。杭州富加鎵業是國內目前唯一一家同時具備6英寸單晶生長及外延的公司，開工建設的6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線也是國內第一條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線，該生產線高度集成單晶生長、襯底加工、外延及檢測，整條產線涉及關鍵設備包括“一鍵長晶”單晶生長設備、多線切割設備、高精度研磨拋光設備、倒角設備、激光加工設備、全自動化晶片清洗設備、高通量外延設備、表面缺陷檢測儀、電學性能測試儀等重要設備。面向未來，6英寸的氧化鎵單晶及外延片將為下游器件廠商提供穩定可控的高質量氧化鎵材料。

杭州富加鎵業科技有限公司成立于2019年12月31日，是杭州光學精密機械研究所注冊成立的第一家“硬科技〞企業，公司以“讓世界用上好材料”為愿景，開展寬禁帶半導體氧化鎵材料的產業化工作，主要從事氧化鎵單晶材料生長、氧化鎵襯底及外延片研發、生產和銷售工作，產品主要應用于功率器件、微波射頻及光電探測等領域。（來源：富加鎵業）