天眼查顯示，芯聯集成電路制造股份有限公司近日取得一項名為“外延設備”的專利，授權公告號為CN221663071U，授權公告日為2024年9月6日，申請日為2024年1月25日。
本實用新型提供一種外延設備，外延設備包括：腔體，包括第一腔體和第二腔體；基座，設置于腔體內，用于承載襯底；第一腔體和基座之間形成有反應空間，第二腔體和基座之間形成有吹掃空間；第一內襯環和第二內襯環，設置于腔體內且分別位于第一腔體的邊緣和第二腔體的邊緣；第一內襯環和第二內襯環之間形成有用于反應氣體進入反應空間的第一進氣口和用于反應氣體流出反應空間的第一出氣口；其中，第二腔體上設置有用于吹掃氣體進入吹掃空間的第二進氣口，第二內襯環靠近第一出氣口的部位中設置有用于吹掃氣體流出吹掃空間的第二出氣口。本申請可以提高外延層邊緣厚度的均勻性，解決外延層邊緣偏薄的問題，并提高腔體的PM周期。
