2024年11月18-21日，第十屆國際第三代半導體論壇（IFWS2024）&第二十一屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA2024）、先進半導體技術應用創新展（CASTAS）將在蘇州國際博覽中心舉辦。

馬爾文帕納科將攜多款設備產品亮相此次展會。值此，誠摯邀請第三代半導體產業同仁共聚論壇，蒞臨A12號展位參觀交流、洽談合作。   

關于馬爾文帕納科

馬爾文帕納科，微觀分析領域的專家，致力于釋放微觀世界的力量，促成宏觀世界的改變。通過利用專業的化學、物理和結構分析技術及廣泛的行業知識和應用經驗，幫助您開發質量更好的產品，并縮短產品的上市時間。主要產品有X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、激光粒度儀、納米粒度電位儀等等。

馬爾文帕納科X射線分析技術具有近百年的發展歷史，是全球主要的X射線分析軟硬件供應商。其備受認可的高分辨X射線衍射儀為半導體外延分析而設計，可進行單晶外延、非晶、多晶薄膜量測，提供厚度和超晶格周期、成分和失配率、應變和弛豫、曲率半徑、襯底材料取向等關鍵參數。測量晶圓最大直徑可達300mm，輕松集成自動裝片系統。

2023年弗萊貝格（Freiberg）的部分XRD業務并入馬爾文帕納科（Malvern Panalytical），多款單晶定向儀將為國內半導體生產企業提供更快速、更精準的單晶定向測量，進一步提高晶圓產品的良率。

馬爾文帕納科隸屬于精密儀器與過程控制設備制造商英國思百吉集團。

Malvern Panalytical

Malvern Panalytical, an expert in the field of microanalysis, is committed to unleashing the power of the microscopic world to effect changes in the macroscopic world. By leveraging professional chemical, physical, and structural analysis technologies, along with extensive industry knowledge and application experience, we help you develop higher quality products and shorten the time to market. Our main products include X-ray diffractometers, X-ray fluorescence spectrometers, particle size analyzers, and more.

Malvern Panalytical's X-ray analysis technology has a development history of nearly a century and is a major global supplier of X-ray analysis software and hardware. Its highly recognized high-resolution X-ray diffractometers are designed for semiconductor epitaxy analysis, capable of measuring single crystal epitaxy, amorphous, and polycrystalline thin films. It provides key parameters such as thickness and superlattice period, composition and mismatch rate, strain and relaxation, curvature radius, and substrate material orientation. The maximum diameter of the wafer that can be measured is up to 300mm, and it can be easily integrated with an automatic sample loading system.

In 2023, part of the XRD business in Freiberg was integrated into Malvern Panalytical. Several single crystal orientation instruments will provide domestic semiconductor production enterprises with faster and more accurate single crystal orientation measurements, further improving product yield.

Malvern Panalytical is part of Spectris plc, the productivity-enhancing instruments and controls company.

產品介紹

1，產品名稱：X’Pert3 MRD/XL新一代高分辨X射線衍射儀

產品特點及應用：馬爾文帕納科新一代 X'Pert³ MRD (XL) 高分辨X射線衍射儀，專為薄膜分析打造，具有全新編碼定位技術測角儀、PreFIX預校準光路系統，適用高負載條件的歐拉環樣品臺，允許裝載200mm-300mm的晶圓，PIXcel3D探測器實現高動態范圍的測量，靈活切換0D-1D-2D靜態及掃描模式。性能的改進大大增強其可靠性，進一步提高了分析能力。可提供一體化解決方案來滿足不同需求和應用：

• 半導體和單晶晶圓：倒易空間探索、搖擺曲線分析

• 多晶固體和薄膜：織構分析、反射測量

• 超薄薄膜、納米材料和非晶層：掠入射物相鑒定、面內衍射

• 非常溫條件下的測量：隨溫度和時間變化的峰高 

2，產品名稱：Empyrean 銳影多功能X射線衍射儀

產品特點及應用：Empyrean 銳影具有在一臺儀器上測量多種類樣品的能力，無論是粉末、薄膜還是納米材料與固體物體。作為馬爾文帕納科第三代Empyrean銳影，具有智能 “MultiCore”多核光路系統，無需人工干預即可實現多種類的不同測量。外延薄膜分析中，Empyrean銳影可以放置最大140毫米的晶圓，對2英寸的晶圓或晶圓碎片進行完整XY Mapping。此外，在薄膜分析領域的應用還包含有：

· 物相鑒定（和深度剖析）

· X射線反射

· 薄膜應力分析

· 織構分析

· In-plane衍射

· 外延層分析

· 倒易空間Mapping

· 非常溫環境條件下測量 

3，產品名稱：Omega/Theta 晶向定位儀

產品特點及應用：

· 測試速度快：10s

· 測角精度高：0.003°

· 端面及參考邊定向

· SiC鑄錠粘接轉移技術

· Flat/Notch的光學測量功能

· 鑄錠及晶圓的面掃

· 搖擺曲線單點檢測及面掃 

4，產品名稱：SDCOM晶向定位儀

產品特點及應用：

· 測試速度快：10s

· 測角精度高：0.01°

· 臺式設備，無需水冷

· 多種樣品臺可選

· 晶圓片及鑄錠面掃

· SiC鑄錠粘接轉移技術

· Flat/Notch的光學測量功能

參會聯系：

今年，第十屆國際第三代半導體論壇&第二十一屆中國國際半導體照明論壇（IFWS＆SSLCHINA2024）將于11月18-21日在蘇州國際博覽中心舉辦，國內外院士專家齊聚，數十場會議活動，數百位報告嘉賓，全產業鏈知名企業參與&參展，內容全面覆蓋行業工藝裝備、原材料、技術、產品與應用各環節，融合聚集產、學、研、用、政、金多個層面的資源，年度國際第三代半導體產業“風向標”盛會，11月相聚蘇州，共襄盛會，共謀發展！歡迎業界同仁咨詢參展參會，免費觀展交流合作！》》》最新60+報告嘉賓公布！IFWS&SSLCHINA2024報名中！