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芯聯(lián)集成“一種半導體結構及其形成方法”專利公布

日期:2024-12-11 閱讀:266
核心提示:天眼查顯示,芯聯(lián)集成電路制造股份有限公司一種半導體結構及其形成方法專利公布,申請公布日為2024年11月5日,申請公布號為CN118

天眼查顯示,芯聯(lián)集成電路制造股份有限公司“一種半導體結構及其形成方法”專利公布,申請公布日為2024年11月5日,申請公布號為CN118899257A。

本發(fā)明提供一種半導體結構及其形成方法,所述半導體結構包括:襯底;層間介質層,覆蓋襯底;接觸孔,自層間介質層的表面延伸至伸入襯底內;第一粘合層,覆蓋接觸孔的底壁及側壁;導電插塞,填充接觸孔;第二粘合層,形成于層間介質層及導電插塞的表面,第二粘合層的硬度大于第一粘合層的硬度;以及,金屬電極層,覆蓋第二粘合層。利用第二粘合層作為金屬電極層與層間介質層之間的結合層,由于第二粘合層的硬度大于第一粘合層的硬度,可有效阻隔金屬電極層對襯底的影響,因此可以提高打線強度,同時,在形成第二粘合層時,先去除層間介質層上的第一粘合層,第二粘合層不會因與第一粘合層之間結合力差而容易剝落,由此可以保證器件性能。

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