國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，浙江材孜科技有限公司取得一項(xiàng)名為“一種碳化硅單晶生長(zhǎng)裝置”的專(zhuān)利，授權(quán)公告號(hào)CN 222182546 U，申請(qǐng)日期為2024年3月。

專(zhuān)利摘要顯示，本實(shí)用新型提供了一種碳化硅單晶生長(zhǎng)裝置，通過(guò)設(shè)置坩堝結(jié)構(gòu)包括開(kāi)口相對(duì)設(shè)置的下坩堝和上坩堝，所述上坩堝和所述下坩堝通過(guò)側(cè)壁滑動(dòng)連接；一方面，使得可以充分利用上坩堝和下坩堝之間的生長(zhǎng)空間，進(jìn)一步提高長(zhǎng)晶厚度而且上坩堝與下坩堝之間的組合也更有利于生長(zhǎng)空間的穩(wěn)定性；另一方面，上坩堝和下坩堝通過(guò)側(cè)壁滑移連接，可以通過(guò)動(dòng)態(tài)拉伸保持碳化硅單晶生長(zhǎng)界面和碳化硅粉料界面的距離來(lái)控制軸向溫度梯度的動(dòng)態(tài)平衡，保持在生長(zhǎng)過(guò)程中的生長(zhǎng)界面的穩(wěn)定，降低位錯(cuò)等缺陷。