近日，晶馳機電開發的8英寸碳化硅（SiC）電阻式長晶爐順利通過客戶驗證，設備穩定性和工藝穩定性均滿足客戶需求。

圖1   8英寸碳化硅晶驗收晶錠

技術創新，引領未來

此次推出的8英寸碳化硅電阻式長晶爐，是晶馳機電針對當前市場需求精心打造的先進半導體材料制備新裝備。 

該設備采用獨特的結構設計，結合最先進的過程控制理論和自動化控制方法，實現了長晶過程中工藝參數的精準控制和設備運行的高度智能化。通過創新的熱場設計，實現均勻的徑向溫度和寬范圍精準可調的軸向溫度梯度。熱場穩定性高，使用壽命長，大幅提升了晶體的質量和良品率。

圖2  8英寸碳化硅電阻式長晶爐 

電阻法工藝：簡化操作，加速普及

與傳統的感應式碳化硅單晶設備相比，晶馳機電開發的電阻法SiC長晶爐簡化了工藝設計流程，熱場穩定性高，熱場使用壽命長，多爐次生長單晶的一致性好，特別適合大尺寸碳化硅單晶生長。這一系列特點使得電阻法設備尤其適合希望快速進入SiC單晶生長領域但又缺乏深厚經驗基礎的企業。

圖3  8英寸碳化硅驗收晶片位錯指標

圖4  8英寸碳化硅驗收晶片微管缺陷指標 

小批量交付，開啟合作新篇章

憑借卓越的技術性能和市場適應性，晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐已獲得多家客戶認可，并正式開啟了小批量交付。這不僅是客戶對晶馳機電技術創新能力的肯定，也是晶馳機電市場策略精準把握的證明。晶馳機電正積極尋求與更多碳化硅襯底材料廠家的深度合作，旨在共同推動SiC材料的應用普及與技術迭代，共創行業輝煌。 

攜手合作，共創輝煌

晶馳機電作為浙江大學杭州國際科創中心的孵化企業，將努力弘揚求是精神，秉持創新驅動發展的理念，深化產學研合作，強化自主創新能力，不斷優化產品性能，提高技術成果轉化效率，擴大生產規模，以滿足全球市場對高性能碳化硅材料日益增長的需求。 

晶馳機電銷售經理趙耀表示：“我們很高興看到晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐項目取得成功，這不僅是公司技術進步的表現，也是我們對市場需求快速響應的結果。我們期待與更多合作伙伴共同推動半導體行業的發展。” 

本次技術突破和產品驗證的成功，不僅增強了晶馳機電在國內外市場的競爭力，也為中國半導體設備制造業的發展注入了新的活力。

（來源：晶馳機電）