據上海臨港消息，2月24日下午，臨港新片區管委會與超微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）簽署戰略合作協議。

超微公司主要從事電子束及光學量檢測設備的研發與產業化，擬投資10億元在臨港建設電子束和光學量檢測設備研發和制造基地項目，聚焦集成電路重大設備技術開發與產品市場化，并探索人工智能在圖像處理、設備智能化方面的應用。

天眼查顯示，超微半導體設備（上海）有限公司注冊成立于2024年11月22日，法定代表人為尹志堯，其控股股東為中微半導體設備（上海）股份有限公司（持股60%）。

2月18日，中微半導體設備（上海）股份有限公司與成都高新區簽訂投資合作協議，該企業將在成都高新區設立全資子公司并建設研發及生產基地暨西南總部項目。該項目總投資額約30.5億元，注冊資本1億元，并計劃購地50余畝，用于建設研發中心、生產制造基地、辦公用房及附屬配套設施，以滿足量產需求。項目擬于2025年啟動建設，2027年正式投入生產。

中微公司成立于2004年，是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。該公司是國內高端芯片設備龍頭企業之一，憑借出色的創新能力與持續的技術進步能力，中微公司四次榮登福布斯中國創新力企業50強榜單。2024年，公司研發投入預計24.5億元，研發投入同比增長94.1%。截至2024年9月，該公司已申請2744項專利，已獲授權專利1716項。

自2019年臨港新片區成立以來，經過五年的發展，臨港集成電路產業已經成為新片區投資規模最大、集群效應最強、產業鏈布局最完善的核心產業，目前已集聚了300多家在國內外有影響力的集成電路企業。