由北京大學東莞光電研究院牽頭起草的標準T/CSA 102-202x《異質外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》已形成征求意見稿，現正式面向CSA聯盟會員單位征集意見，為期一個月，2025年6月6日截止。征求意見稿CSAS秘書處郵件發送至聯盟會員單位，未收到的會員單位及非聯盟會員單位如有需要，可發郵件至：csas@china-led.net

T/CSA 102-202x《異質外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》

本文件描述了使用白光干涉法測試異質外延單一結構的氮化鎵外延層厚度的試驗條件、儀器設備、樣品、試驗步驟、試驗數據處理、質量保證和控制，以及試驗報告。 

本文件適用于異質外延氮化鎵外延層厚度（范圍為0.1 μm至100 μm）的測試。AlN、InN、AlGaN和InGaN在異質外延上的單一結構膜層厚度的測試可參照執行。

（來源：半導體照明工程研發及產業聯盟）