9月29日，蘇州晶瑞化學股份有限公司（股票簡稱：晶瑞股份，股票代碼：300655）對外發(fā)布公告稱，公司為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國 SK Hynix 的 ASML光刻機設(shè)備，總價款為1102.5萬美元。公司董事會審議通過了《關(guān)于購買設(shè)備的議案》，同意授權(quán)公司法定代表人或法定代表人指定的授權(quán)代理人全權(quán)辦理相關(guān)合同的簽署及設(shè)備采購事宜。
據(jù)披露，SK海力士(SK Hynix)是韓國一家生產(chǎn)動態(tài)隨機存取存儲器芯片和閃存芯片的半導(dǎo)體供應(yīng)商。海力士是全球第二大內(nèi)存芯片制造商，僅次于三星電子之后。作為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體廠商，SK海力士在韓國利川與青州、中國無錫與重慶設(shè)有 四個生產(chǎn)基地，并在全球建立了四個研發(fā)中心與十個銷售機構(gòu)。
晶瑞股份表示，本次合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目關(guān)鍵設(shè) 備的技術(shù)先進性和設(shè)備如期到位并投產(chǎn)，對加快項目進度有積極影響。本次交易有利于進一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，有助于落實公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。
超凈高純試劑實現(xiàn)國產(chǎn)化
據(jù)覽富財經(jīng)網(wǎng)了解，晶瑞股份是一家微電子材料的平臺型高新技術(shù)企業(yè)，圍繞泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個方向，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等。
其中，超凈高純試劑是控制顆粒和雜質(zhì)含量的電子工業(yè)用化學試劑，在半導(dǎo)體行業(yè)被廣泛應(yīng)用于清洗和蝕刻工段的關(guān)鍵性材料，該類產(chǎn)品對于金屬雜質(zhì)含量的控制有著極其嚴苛的要求.
目前半導(dǎo)體用的主要高純化學試劑品種有高純硫酸、高純過氧化氫、高純氨水、高純鹽酸等。超凈高純試劑主要用于半導(dǎo)體、平板顯示、LED、光伏太陽能電池等電子信息產(chǎn)品的清洗、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)。
晶瑞股份在半導(dǎo)體材料方面布局的高純雙氧水、高純氨水及在建的高純硫酸等產(chǎn)品品質(zhì)已達到或者可達到SEMI最高等級G5 水準，金屬雜質(zhì)含量均低于10ppt，高純硫酸產(chǎn)品預(yù)計2020年實現(xiàn)投產(chǎn)后，半導(dǎo)體用量最大的三個高純濕化學品將整體達到國際先進水平，可基本解決高純化學品這一大類芯片制造材料的本地化供應(yīng).
公司目前已投產(chǎn)主導(dǎo)產(chǎn)品獲得半導(dǎo)體頭部公司、華虹宏力、長江存儲等國內(nèi)知名半導(dǎo)體客戶的采購。另外，公司其他多種超凈高純試劑如BOE、硝酸、鹽酸、氫氟酸等產(chǎn)品品質(zhì)全面達到G3、G4等級，可滿足平板顯示、LED、光伏太陽能等行業(yè)的客戶需求。
整體來看，晶瑞股份自2001年開始高端雙氧水的研發(fā)和生產(chǎn)，自主開發(fā)了先進的提純技術(shù)，并獲得了發(fā)明專利。超大規(guī)模集成電路用超凈高純雙氧水技術(shù)突破了國外技術(shù)壟斷，產(chǎn)品品質(zhì)可達到10ppt以下，滿足SEMI制定的最高純度等級，成功填補了國內(nèi)空白。
光刻膠產(chǎn)品有30年生產(chǎn)經(jīng)驗
據(jù)了解，光刻膠是芯片工藝制造中的關(guān)鍵材料，其技術(shù)水平?jīng)Q定了半導(dǎo)體產(chǎn)品的技術(shù)規(guī)格和能力，技術(shù)原理是利用光化學反應(yīng)經(jīng)光刻工藝將所需要的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上的圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì)，由成膜劑、光敏劑、溶劑和添加劑等主要化學品成分和其他助劑組成。
在光刻工藝中，光刻膠被均勻涂布在硅片、玻璃和金屬等不同的襯底上，經(jīng)曝光、顯影和蝕刻等工序?qū)⒀谀ぐ嫔系膱D形轉(zhuǎn)移到薄膜上，形成與掩膜版完全對應(yīng)的幾何圖形。光刻膠按顯示的效果，可分為正性光刻膠和負性光刻膠。
晶瑞股份的光刻膠產(chǎn)品由公司的子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)，蘇州瑞紅作為國內(nèi)光刻膠領(lǐng)域的先驅(qū)，規(guī)模生產(chǎn)光刻膠近30年，產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體及平板顯示領(lǐng)域，產(chǎn)品技術(shù)水平和銷售額處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。
蘇州瑞紅1993年開始光刻膠生產(chǎn)，承擔并完成了國家02專項“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目，i線光刻膠已向國內(nèi)頭部的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，KrF(248nm深紫外)光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達到了0.25~ 0.13μm的技術(shù)要求，建成了中試示范線。
目前，公司紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產(chǎn)品已規(guī)模供應(yīng)市場數(shù)十年，i線光刻膠近年已供應(yīng)國內(nèi)頭部芯片公司，高端KrF(248)光刻膠處于中試階段。同時，公司擁有達到國際先進水平的光刻膠生產(chǎn)線，實行符合現(xiàn)代電子化學品要求的凈化管理，擁有國家02專項資助的一流光刻膠研發(fā)和評價實驗室。
以人才技術(shù)謀求創(chuàng)新發(fā)展
令人關(guān)注的是晶瑞股份還擁有完善的研發(fā)體系、激勵機制和實力較強的研發(fā)隊伍，公司研發(fā)團隊通過多年的研發(fā)積累，取得了一大批擁有自主知識產(chǎn)權(quán)并產(chǎn)業(yè)化的科研成果;先后主持了國家、省、市科技項目二十余項，參與起草了多項國家和行業(yè)標準。
在長期發(fā)展的過程中，公司重視技術(shù)人員的培養(yǎng)，多次派技術(shù)人員到德國、日本參觀交流、培訓學習，同時與國內(nèi)多所知名高校、海內(nèi)外研究所等單位開展技術(shù)合作。目前，公司已經(jīng)具備為下游客戶開發(fā)新產(chǎn)品的實力，具備以領(lǐng)先的工藝技術(shù)有效解決客戶對產(chǎn)品功能性需求的實力。
另外，公司建有國內(nèi)領(lǐng)先國際一流的分析檢測實驗室，配置有各類先進的分析檢測儀器，目前實驗室已通過中國合格評定國家認可委員會的審核，并取得了CNAS認證證書，為國內(nèi)同行業(yè)中首家獲得此認證的企業(yè)。
