1月19日，晶瑞股份（300655.SZ）發布了“關于購買光刻機設備進展情況的公告”。公告表示，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目，“經公司多方協商、積極運作，順利購得ASMLXT1900Gi型光刻機一臺。”
晶瑞股份對媒體透露，“公司目前正在生產和銷售的半導體光刻膠主要包括I 線和G 線光刻膠，此外還有印制電路板（PCB）和液晶顯示器（LCD）光刻膠等；購買的光刻機主要用于未來高端半導體光刻機的研發。”
上述公告亦顯示，該臺光刻機已于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室，下一步，公司將積極組織相關資源，盡快完成設備的安裝調試工作。
關于購買該設備的背景，公告則稱：目前高端集成電路材料的核心產業化技術仍掌握在國外企業手中，大部分市場份額仍被外企所占據，不少集成電路用關鍵材料已經成為我國“卡脖子”的技術領域，在國際環境日益嚴峻的情況下，如不能成功實現該領域的國產化，未來將付出更大的代價。公司完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率。本次購買的ASML光刻機設備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目的必要實驗設備，旨在研發出更高端的ArF光刻膠，若研發工作進展順利，將有助于公司將光刻膠產品序列實現到ArF光刻膠的跨越，并最終實現應用于12英寸芯片制造的戰略布局。
有關光刻機的具體研發用途，晶瑞股份還進一步表示：“公司采購的光刻機設備為ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻機，可用于研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠。”
當天，為了迎接這臺光刻機，晶瑞股份還現場舉行了搬入儀式。晶瑞股份董事長吳天舒在現場講話中表示：“浸沒式光刻機是高端光刻膠研發的關鍵設備，盡管投入巨大，晶瑞股份還是下定決心購買。為解決集成電路制造領域關鍵材料“卡脖子”問題，加速高端ArF光刻膠研發，建立研發平臺，公司后續還將購置其他相關輔助設備，并盡早完成設備的安裝調試，投入使用。”
消息發酵后，在尺度的股東群引起了熱議，投資者對此看法不一。
樂觀方認為，雖然這臺光刻機不是最先進，但對于晶瑞股份或者中國半導體產業而言卻是意義非凡。公開數據顯示，歐美、日本企業在光刻膠領域長期處于壟斷地位，前五大廠商占據了全球光刻膠市場87%的份額。由于國內光刻膠發展起步較晚，生產能力主要集中于PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產品，而TFT-LCD、半導體光刻膠等高端產品依賴大量進口。
但謹慎方認為它是臺二手貨，并不那么看好。據媒體報道，晶瑞股份購買的這臺光刻機設備為十年前的產品。當初由無錫SK海力士購入，但因為SK海力士工廠起火，更換了制程，這些設備被運到韓國。晶瑞股份購買的這臺設備就是其中之一。
晶瑞股份購買二手光刻機設備最早得追溯至去年9月份。
2020年9月29日，晶瑞股份公告稱，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目，公司擬斥資1102.5萬（約為人民幣7508萬元）美元購買一臺ASML（阿斯麥）光刻機。當日，其股價大漲20.04%（漲停），市值暴增超13億元。
股價暴漲引起監管層注意。2020年9月30日，深交所對其下發關注函，要求公司說明擬購買光刻機設備的具體用途、資金來源，以及擬購買光刻機設備型號等問題。
晶瑞股份在回復深交所關注函時表示，本次擬購買的光刻機設備將用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目，將有助于公司將光刻膠產品序列實現到ArF 光刻膠的跨越，并最終實現應用于12英寸芯片制造的戰略布局。預計 2021 年上半年內完成運輸并安裝完畢。
晶瑞股份工作人員曾接受采訪時表示，所購買的光刻機為二手設備，主要用途是研究而非生產制造。
市場炒作晶瑞股份股價的邏輯是光刻膠國產替代化，但買入光刻機設備并不意味著能立即帶來積極效果。
事實上，光刻機維護成本較高。有業內人士表示，“一臺光刻機就花了1000多萬美元，還要購置涂布顯影機、缺陷檢驗設備、膜厚檢測機臺等一系列相關輔助設備，還要建設潔凈室……ArF光刻膠研發要大幾億元的投入。”晶瑞股份也提示風險稱，該光刻機設備價格昂貴，其折舊及后續維護費用預計對公司的經營業績存在一定影響。
