公告顯示，3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期貨款購入該光刻機，剩余90%六個月內付清。后續公司將啟動設備的運輸及相關安裝調試等工作。

公司表示，集成電路制造用ArF濕法光刻膠產品技術要求高、投資需求大，公司為加速集成電路制造用高端光刻膠全品類的國產化進程，減少上市公司業績壓力，通過參股子公司芯刻微進行Ar濕法光刻膠的研發，并與協議各方承諾未來通過向上市公司進行股權轉讓或技術轉讓等方式避免可能的同業競爭。

值得一提的是，這已不是上海新陽第一次購入光刻膠產品。3月8日，上海新陽公告稱，經各方積極協商、運作，ASML-1400光刻機設備于今日已進入合作方北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司場地，后續將進行安裝調試等相關工作。公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nm ArF干法光刻膠產品開發進度有積極影響。

天眼查顯示，合作方北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司大股東為芯鏈融創集成電路產業發展（北京）有限公司，后者由北京凱世通半導體有限公司在內的26個國內半導體優質公司共同出資組建。中芯國際、北京亦莊則占比各為25%并列為第二大股東。

此外，近期不少上市公司都在購買光刻機。2021年1月19日晚，晶瑞股份公告稱，經公司多方協商、積極運作，順利購得ASML XT 1900 Gi型光刻機一臺。3月3日晚，中芯國際發布公告稱，2021年2月1日，其與光刻機設備大廠阿斯麥（ASML）簽訂了批量設備采購協議，協議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日，延長為從2018年1月1日至2021年12月31日。根據此批量采購協議，訂單總金額約12億美元。此外英諾賽科今年也公布購入光刻機設備。

自去年下半年以來，芯片缺貨漲價已經成為半導體行業的主旋律。而光刻膠作為半導體光刻工藝的核心材料，決定了半導體圖形工藝的精密程度和良率，成為了其中最受矚目的環節之一。

中金公司曾指出，半導體設備和材料是高端制造業發展的基礎，結合中芯國際潛在成熟制程獲取美國設備許可證，建議關注上游設備及原材料的機會。