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露笑科技:9月可實現6英寸導電型碳化硅襯底片小批量試生產

日期:2021-06-30 來源:半導體產業網閱讀:293
核心提示:近日,露笑科技在投資者關系活動中表示,合肥工廠9月份可實現6英寸導電型碳化硅襯底片的小批量試生產。有投資者提問:目前公司在
近日,露笑科技在投資者關系活動中表示,合肥工廠9月份可實現6英寸導電型碳化硅襯底片的小批量試生產。
 
有投資者提問:目前公司在合肥投資的碳化硅工廠進度如何?如何理解公司碳化硅襯底片目前已經送樣檢測通過這個技術環節?
 
露笑科技表示,公司已全面掌握6英寸導電型碳化硅晶體生長工藝參數之間的各種耦合關系,確定了各工藝參數的優值,中試線生長成品率達到40%,具備了可重復、可批量生長碳化硅晶體的設備以及技術條件。其中露笑科技提供100%國產化的晶體生長設備,目前已根據工藝的改進,對長晶爐進行了三代優化,完成了設備定型。這次合肥項目一期100臺設備已經完成出廠調試,預計7月底在合肥工廠完成安裝調試。襯底片已通過多 家第三方單位的測試,已達到了P級標準。隨著襯底加工設備、清洗設備、測試設備等的逐步到位,以及加工工藝的進一步優化,合肥工廠9月份可實現6英寸導電型碳化硅襯底片的小批量試生產。
 
同時說明一點,車規級導電型碳化硅襯底片開發目前是世界級難題,是真正卡脖子的技術,需要全行業的人沉下心來、深耕細作。如何提高產率,如何穩定質量,如何規模化產業化,怎樣進一步降低成本,價格如何降低到整個行業可以普及等等一系列問題,行業上還有很長的路要走。露笑科技正在為此努力,力爭年底前形成規?;慨a能力。
 
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