近日，東方晶源舉行國內首臺關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）出機儀式，正式宣布斬獲訂單并出機中芯國際。

此次出機的關鍵尺寸量測設備（型號：SEpA-c410）面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，可實現高重復精度、高分辨率及高產能的關鍵尺寸量測。進駐中芯國際后，將通過實際產線驗證，進一步提升、完善設備性能，向產業化目標整體邁進。