日前，上海精測半導體國內首臺12寸獨立式光學線寬測量設備（OCD）與國內唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）順利出機。
上海精測半導體母公司精測電子7月13日披露的投資者調研紀要中指出，上述兩款出機產品的客戶為晶圓代工廠商中芯國際。前不久，東方晶源首臺關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）也宣布斬獲訂單并出機中芯國際。
圖片來源：上海精測半導體
據介紹，上海精測半導體12寸獨立式光學線寬測量機臺(OCD)是該類型的國內首臺機臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進工藝節點的快速線寬測量。12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）是全自動晶圓在線電子束缺陷復查和分類設備，對光學缺陷檢測設備的結果進行高分辨率復查、分析和分類。
資料顯示，上海精測半導體成立于2018年7月，為精測電子旗下子公司，主要聚焦半導體前道檢測設備領域， 致力于半導體前道量測檢測設備的研發及生產，現已形成了膜厚/OCD 量測設備、電子束量測設備、泛半導體設備三大產品系列。
精測電子投資者調研紀要信息顯示，上海精測膜厚產品（含獨立式膜厚設備）已取得國內一線客戶的批量重復訂單、OCD量測設備已取得訂單并已實現交付，半導體電子束檢測設備eViewTM 全自動晶圓缺陷復查設備已正式交付國內客戶。其余儲備的產品目前正處于研發、認證以及拓展的過程中。
據了解，精測電子是國內較早從事平板顯示檢測系統業務公司之一，在平板顯示領域已取得一定的市場地位，近年來正加速向半導體檢測設備領域拓展。
2020年年報顯示，精測電子目前已基本形成在半導體檢測前道、后道全領域的布局——子公司武漢精鴻主要聚焦自動檢測設備（ATE）領域（主要產品是存儲芯片測試設備）；子公司WINTEST以及其在武漢的全資子公司偉恩測試現階段主要聚焦驅動芯片測試設備領域；子公司上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領域。
