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三星計劃今年底導入Inpria無機光刻膠,有望應用于5nm制程

日期:2021-07-27 來源:財聯社閱讀:292
核心提示:據外媒報道,三星正致力于推動光刻膠供應多元化的實現,計劃在今年之內導入Inpria的無機光刻膠,目前已經完成性能評估,有望應用于5nm超精細工藝制程。
 據外媒報道,三星正致力于推動光刻膠供應多元化的實現,計劃在今年之內導入Inpria的無機光刻膠,目前已經完成性能評估,有望應用于5nm超精細工藝制程。
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