今天，合肥升滕半導體技術有限公司半導體產業核心裝備關鍵零部件國產項目在新站高新區舉行投產儀式

合肥升滕半導體項目總投資約3.2億元，計劃購置生產設備并建設表面處理、清洗、預處理生產線，從事半導體產業核心裝備關鍵零部件的生產制造，通過后續不斷擴大產能，最終年產值有望實現8億元人民幣。

 

一直以來，設備投資占半導體制造項目投資中的較高比重，目前大多核心設備均被國外大廠壟斷，關鍵設備的核心零部件實現本地化制造和再生無疑是國內半導體行業的重要環節，而升滕項目的量產，將進一步提高關鍵零部件的國產化，為新站高新區乃至合肥半導體產業注入重要新增力量。

 

升滕半導體技術有限公司成立于2010年，是專注于半導體設備研發、維護、零部件翻新及新品制造的高新技術企業，主要從事產線泵、通道連接件、氣體分配件、閥門、運輸腔管路、制程腔體等化學氣相沉積工藝設備、離子薄膜沉積工藝設備、半導體蝕刻工藝設備的關鍵零部件的國產化。主要客戶為SK海力士半導體、華潤上華科技、上海中芯國際，上海華宏虹力半導體，蘇州華燦光電、中微半導體等半導體晶圓和液晶面板制造龍頭企業。