全球光刻機龍頭廠商ASML發布了2021年度報告。報告顯示其2021年度營收186億歐元，毛利率52.7%，研發支出25億歐元，凈利潤達59億歐元，各項業績指標都大幅增長，員工總數也達到了3.2萬多人。
不過，在這份2021年度報告當中，ASML也提到了對于其商業秘密、專有客戶數據、知識產權或其他機密信息遭到第三方或自家員工竊取的擔憂。ASML稱，2021年經相關報道了解到，與之前因竊密而被判賠償的XTAL公司的相關公司——東方晶源可能正積極地在中國銷售侵犯ASML知識產權的產品。
ASML表示，已經聯系了部分客戶要求暫停與XTAL有關聯的東方晶源的業務往來，并已告知中國政府相關情況。ASML稱，其正在“密切關注這一情況，并準備在適當的時候采取法律行動”。
資料顯示，XTAL公司成立于2014年，由至少兩名前ASML員工創立，他們曾在ASML-Brion部門工作，該部門是計算光刻領域的領導者。XTAL得到了富裕國際投資者財團的大力資助。雖然ASML最初被告知XTAL的業務不包括計算光刻，但實際上，XTAL的業務不僅包括了計算光刻，而且非法利用ASML-Brion在該領域的相關技術。在XTAL公司成立一年后，就搶下了ASML的多個大客戶，包括電子巨頭三星公司。
隨后，在2016年ASML公司對XTAL公司發起了訴訟。根據指控，ASML美國子公司的幾名員員竊取公司機密——源代碼、軟件、公司定價策略和供內部使用的設備手冊，并將這些機密傳給XTAL公司。2018年11月28日，在美國加州圣克拉拉聯邦法院、陪審團做出本案的初步裁決，裁定XTAL盜竊知識產權的行為屬于惡意，ASML對XTAL提出的所有五項罪名成立，可依法獲得懲罰性賠償。這五項罪名包括：誘使ASML前雇員違反合同、協助和教唆前雇員違反其誠信義務，以及多次違反加州的計算機數據訪問和欺詐法案。
但一個月后，XTAL公司申請破產，造成美國加州圣克拉拉市法院只能延遲判決，直到破產法院的程序結束后，最終于2019年5月3日發出最終判決結果，ASML獲得勝訴，XTAL需賠償ASML 8.45億美元賠償，ASML接手了已破產的XTAL的大部分知識產權。
當時有荷蘭媒體《Financieele Dagblad》報道稱，ASML美國子公司研發部門的六名中國籍員工參與竊取相關技術，并與XTAL分享了ASML軟件流程的信息，這違反了他們的雇傭合同。另外，經調查發現，XTAL的中國母公司是東方晶源。
對此報道，當時ASML予以了駁斥。ASML CEO Peter Wennink表示，“報道中有很多失實的地方，這一報道試圖扭曲事實，竊取知識產權的不僅僅有中國公民，也有其他國家的，卻被有意的進行扭曲。”“這些員工來自于不同國家，他們竊取了ASML產品和服務的一小部分，將其出售給了ASML位于韓國的客戶。此外，XTAL是一家有韓國和中國資金支持的公司。”
但是，對于XTAL與東方晶源是否存在關聯，ASML當時并未予以回應，主要原因可能是缺乏確鑿的證據。此次，ASML在2021年度報告中明確指出，已要求部分客戶暫停與XTAL有關聯的東方晶源的業務往來，并表示“準備在適當的時候采取法律行動”，恐怕是已經掌握了一些證據。
不過，據某ASML相關人士向芯智訊透露稱：“XTAL的官司早已了結，該公司已破產告終。國內關聯的則是東方晶源，（其相關設備代碼）連error code的拼寫錯誤都一模一樣。”資料顯示，東方晶源成立于2014年，創立之初即確立了以電子束圖像檢測、關鍵尺寸量測和計算光刻技術為主攻方向。截止目前，東方晶源成功自主研發了計算光刻軟件（OPC）、納米級電子束檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）三款核心產品，填補了多項國內市場空白，已經成為解決我國集成電路領域“卡脖子”問題的重要力量，對全產業鏈自主可控具有重要的戰略價值和意義。
根據東方晶源公眾號消息顯示，2021年上半年，東方晶源的CD-SEM成功出機國內晶圓代工龍頭企業，市場地位進一步夯實；02國家重大專項、工業強基等項目順利推進；成功被評定為第三批國家級專精特新“小巨人”企業。此外，在客戶的支持下，東方晶源一舉拿下多個重要訂單，東方晶源三款核心產品均已在客戶產線驗證并實現訂單，三款產品也因此填補國內空白。
2021年9月，東方晶源還宣布已完成新一輪數億元股權融資。該輪融資由賽領資本、深創投領投，眾多知名投資機構聯合投資。東方晶源稱，此輪融資將有助于其加快在集成電路前道電子束檢測、計算光刻系統等核心產品的研發進程，加速在集成電路良率管理領域的整體布局。
根據官網資料顯示，目前東方晶源申報國內外發明專利146項，授權發明專利49項，軟件著作權14項，注冊商標15項。目前，對于ASML此番在2021年度報告當中的指控，東方晶源方面并未回應。
