3月3日，江蘇微導納米科技股份有限公司科創板上市申請正式獲得上交所受理，擬募資10億元。微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉 積設備的研發、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。

 

ALD 技術廣泛適用于不同場景下的薄膜沉積，在光伏、半導體、柔性電子 等新型顯示領域均具有很好的應用。報告期內，其產品主要應用于光伏、半導體領域。在成功實現 ALD 技術應用于光伏領域后，先后開發出對技術水平和工藝要求更高的半導體和柔性電子薄膜沉積設備，并逐步拓展應用領域。國產ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝（高介電常數 柵氧層材料沉積環節）中的突破。

 

微導納米此次擬募集資金10億元，扣除發行費用后將用于基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目、基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目、集成電路高端裝備產業化應用中心項目、以及補充流動資金。

基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目擬基于公司現有 ALD 設備產線進行升級擴產，開發適用于光伏、柔性電子的 ALD設備，新增年產120 臺ALD設備的生產能力。基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目擬基于公司現有ALD設備產線進行升級擴產，開發適用于半導體的ALD設備，新增年產40套ALD設備。

 

公告指出，項目實施有助于公司擴大產能，提升公司經濟效益。有利于公司抓住半導體發展機遇，促進半導體裝備國產化。有助于公司提升技術水平，持續升級現有產品。