用于半導體制造裝備的氮化鋁陶瓷加熱底盤，是高端氮化鋁精密陶瓷的一大“卡脖子”產品，世界范圍內只有京瓷等少數幾家國外企業能生產，目前華清電子材料也實現了突破。這種加熱底盤是作為半導體工藝腔室中的晶圓加熱器，對產品純度要求極高，具有高導熱性和耐等離子體性能，且熱量分布均勻，從粉體制備到陶瓷成型燒結和后段加工等一系列工序的把控要求都非常苛刻。
氮化鋁陶瓷加熱底盤
華清生產的氮化鋁陶瓷加熱底盤，實現了400mm超大尺寸的突破，同時具有高導熱性（180W/m·K），可實現快速加熱和快速冷卻功能。從掃描電鏡圖片看，華清生產的氮化鋁陶瓷內部晶粒粒徑均勻，無明顯晶粒偏大現象，能實現熱量均勻性分布，無溫差現象，可應用于半導體設備（PVD,CVD, ALD,ETCH，顯影機等）關鍵核心零部件。
微觀組織結構SEM照片
福建華清電子材料科技有限公司是氮化鋁陶瓷基板的標桿企業，產銷量均位于全球前列。華清電子材料成立于2004年，引進清華大學新型陶瓷與精細工藝國家重點實驗室科研成果。目前已申請專利80多項，獲得授權50多項。廠房面積約4萬平米，現有員工人數近500人。在精密陶瓷領域，公司擁有博士領銜的強大的陶瓷材料研發團隊。公司配置了國際先進的陶瓷生產、機械加工和檢測設備，擁有流延成型，注射成型，干壓成型，冷等靜壓成型，溫等靜壓成型等多種成型設備和成熟工藝，可以為客戶提供最佳工藝方案。同時，還擁有獨立的實驗室和分析檢測中心，可為客戶提供定制化開發和快速分析檢測服務。公司生產的精密陶瓷產品，主要包括氮化鋁和氧化鋁陶瓷兩種材料，產品遠銷美國、日本、韓國、俄羅斯等國家以及中國臺灣等地區。
