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晶盛機電:公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝

日期:2023-05-17 閱讀:583
核心提示:已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝,并建設了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環節的研發實驗線。

 晶盛機電5月16日在互動平臺回答投資者提問時表示,公司現采用物理氣相傳輸法進行碳化硅晶體生長,公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝,并建設了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環節的研發實驗線,通過持續加強技術創新和工藝積累,逐步實現大尺寸碳化硅晶體生長和加工技術的自主可控。

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