捷佳偉創(chuàng)官微消息，近日，捷佳偉創(chuàng)子公司常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司國內首臺完全自主研發(fā)的電子級硅芯清洗設備成功下線，即將交付客戶。
據悉，該設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備，用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝，產品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。
捷佳偉創(chuàng)表示，公司已成為國內唯一一家達到電子級標準的硅芯硅料清洗設備研發(fā)生產廠商，目前公司已實現表金屬0.5ppbw以上等級的電子級硅料批量出貨，2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產品。
