9月26日，瑤光半導體自研的首批SiC激光退火設備ES500-2量產下線，并舉行了交付儀式。
本次交付本次交付不僅驗證了瑤光半導體高效落實客戶承諾，也標志著瑤光半導體在半導體制程設備領域已經具備產業化、規模化的能力。
首批國產化激光退火設備下線 正向研發技術領先
SiC激光退火設備ES500-2采用正向研發的思路，自研集成系統和光路設計，
創新性使用六西格瑪穩健性開發、可靠性設計，結合自研生產核心零部件，實現了長期、安全、穩定、可靠運行，滿足客戶的使用要求。
與傳統激光退火和市面上同類型的機器性比，瑤光半導體此次下線交付的激光退火設備在性能上更高效、更安全、更靈活和更智能。
SiC激光退火設備ES500-2產品亮點
1、極致能效
具有更低的延時，能夠快速加熱材料表面，從而顯著提高了生產效率：可實現快速的6inch晶圓退火，僅需300秒，而市面同類型產品需要600s。
2、安全可靠
經過可靠性開發和模塊化設計，降低了潛在的安全風險，提高了設備的可靠性。
3、行業領先
支持逐步退火和局部退火模式，提供更高的加工靈活性和控制精度，適應性更強。而傳統或同類型的激光退火設備難以實現逐步或局部退火，因此在特殊應用中的應用領域受限。
4、智能制造
配備智能晶圓檢測系統，可進行激光能量補償和晶圓厚度檢測，從而支持全自動生產，提高了生產效率。
瑤光半導體：可靠性是量產的保證 實現真正國產化
中國是世界上最大的半導體消費國，也是最大的半導體進口國。每年進口的半導體設備價值超過300億美元，占全球市場的近一半。提升半導體設備國產化率迫在眉睫。
瑤光半導體激光退火設備領先的加工精度，良品率，提高了加工效率，大幅降低了制造成本。這進一步表明，瑤光半導體自研的激光退火設備不僅是進口代替，更實現優于國外同類產品的技術指標，具有行業領先性。
作為一家專注于第三代寬禁帶半導體先進制程設備的企業，瑤光半導體正持續加大研發投入，著力提高國產設備的質量和性能，降低成本和依賴度，為國內芯片產業提供更強的支撐和保障，賦能半導體產業。
