近年來,由于全球第三代半導體、集成電路等半導體行業保持強勁增長,碳化硅外延片、硅外延片及下游芯片、器件出貨量持續創新高,外延設備的需求量及開機率持續增長,因此設備用零部件市場不斷擴大。半導體設備用碳化硅零部件作為關鍵精密零部件,處于反應腔內,部分直接與晶圓接觸,工藝難度高,對于晶圓制造、芯片制造環節至關重要。
深圳市志橙半導體材料股份有限公司(以下簡稱:“志橙半導體”)是半導體設備用碳化硅零部件領域的國內領先企業。自成立以來,志橙半導體主要從事碳化硅涂層石墨零部件產品的研發、生產與銷售,并提供相關碳化硅涂層服務。
志橙半導體長期致力于技術的創新研發。公司自主研發CVD碳化硅沉積爐等核心生產設備、產品工藝配方等核心技術,攻克工藝、技術難點百余個,成功掌握CVD法制備碳化硅工藝,并實現規模量產。應用該工藝的主要產品碳化硅涂層石墨基座產品的關鍵技術指標達到國內領先、國際主流水平,加速推進了行業國產化進程。
受益于卓越的研發能力和領先的技術儲備,志橙半導體成為國內少數能夠自主開發CVD法碳化硅沉積爐并掌握多項CVD碳化硅涂層核心技術的企業。2020年-2022年,志橙半導體共獲國內授權專利41項,其中,發明專利24項,實用新型專利17項。
此外,志橙半導體還積極推進實體碳化硅、燒結碳化硅等新產品的研發制備,不斷優化公司產品結構,增強公司的市場競爭力。公司與國內半導體產業鏈龍頭企業積極開展技術合作,并響應國家對于泛半導體產業的支持政策。
未來,志橙半導體表示將繼續依托自身技術優勢、廣泛的客戶基礎及豐富的半導體市場經驗,擴大產能,提高生產、管理效率,加大研發投入,吸引培養優秀人才,緊密圍繞“半導體設備零部件及核心材料國產化”的戰略,成為中國乃至世界半導體零部件、材料領域的領先者。