國內(nèi)首條先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底產(chǎn)線通線！鍵合集成襯底產(chǎn)線的通線，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，有效解決了國內(nèi)先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底材料卡脖子問題。

解決先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底材料卡脖子問題

青禾晶元?jiǎng)?chuàng)始人母鳳文從讀博士到現(xiàn)在，在先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底領(lǐng)域已有10年研究時(shí)間。與大多數(shù)專家級別的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)一樣，母鳳文博士創(chuàng)業(yè)前在日本讀博，畢業(yè)之后一直跟產(chǎn)業(yè)界有著頻繁接觸，過程中看到日本產(chǎn)業(yè)公司對技術(shù)和創(chuàng)新的追求，受到影響決心回國創(chuàng)業(yè)。

只要技術(shù)突破，產(chǎn)能迅速釋放，公司就能快速進(jìn)入發(fā)展通道。“目前國內(nèi)市場對于先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底材料，特別是碳化硅的需求供不應(yīng)求；應(yīng)用領(lǐng)域上，新能源汽車、光伏、電力傳輸?shù)阮I(lǐng)域有較大市場。

首期產(chǎn)能規(guī)模3萬片，未來聚焦8英寸襯底

首條先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底產(chǎn)線的投產(chǎn)，規(guī)模3萬片，未來計(jì)劃達(dá)到15萬片。襯底尺寸目前以6英寸為主，未來會(huì)轉(zhuǎn)到8英寸。

母鳳文博士的信心來源于技術(shù)的成熟和低成本化。“以碳化硅舉例，國內(nèi)獲得材料的主要方式，還是‘長晶’法。但這種方式高耗能，需要達(dá)到2000度才能把材料‘長’出來。最重要的是，‘長晶’工藝穩(wěn)定性不強(qiáng)、良品率低，使得高質(zhì)量碳化硅材料獲得較少，價(jià)格昂貴。”

青禾晶元之所以快速投產(chǎn)，核心是技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)。“公司利用‘復(fù)合’原理，把高低質(zhì)量的襯底材料進(jìn)行結(jié)合，在充分利用高質(zhì)量材料的同時(shí)，也把低質(zhì)量材料利用起來，這一方法有效地降低了材料成本，保證高性能、低成本襯底材料的供給。”母鳳文博士表示。

通過每一層材料的單獨(dú)制作以及最后調(diào)控，青禾晶元攻克了材料獲得上的難題，從最終產(chǎn)品看，復(fù)合襯底可以做到性能更優(yōu)，成本更低，良品率更高。至于從6英寸到8英寸襯底，母鳳文博士非常有信心：“如果是‘長晶’法，8英寸難度是幾何級別。但采用‘復(fù)合’法，從6英寸到8英工藝相通，只是對機(jī)臺(tái)的調(diào)整。且不涉及溫度影響，很多工藝在常溫下完成。”

量產(chǎn)降低成本

首條產(chǎn)線量產(chǎn)只是第一步，下一步會(huì)積極打磨每一個(gè)環(huán)節(jié)，包括供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)，把整體成本進(jìn)一步降低。未來隨著產(chǎn)品的規(guī)模化，也希望給到客戶更好價(jià)格。

復(fù)合襯底材料行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵是技術(shù)創(chuàng)新，一旦技術(shù)打通，建產(chǎn)線產(chǎn)能是自然而然的事。在下游需求旺盛的背景下，產(chǎn)能起量也將非常快，公司前進(jìn)方向明確。截至目前，青禾晶元投產(chǎn)的首條先進(jìn)半導(dǎo)體復(fù)合襯底產(chǎn)線，在創(chuàng)業(yè)公司中跑在前列。

來源：科創(chuàng)板日報(bào)