2024年4月9-11日，一年一度化合物半導(dǎo)體行業(yè)盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會（簡稱“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會展中心舉辦。北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司將攜新品亮相本屆盛會，誠邀業(yè)界同仁蒞臨1T12展臺參觀、交流合作。
本屆CSE博覽會由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實驗室共同主辦，以“聚勢賦能 共赴未來”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)專家、行業(yè)領(lǐng)袖和創(chuàng)新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術(shù)與商貿(mào)交流”的形式，為產(chǎn)業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建供需精準(zhǔn)對接平臺，助力企業(yè)高效、強(qiáng)力拓展目標(biāo)客戶資源，加速驅(qū)動中國化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善和升級。
CSE作為2024年首場國際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會得到了多方力量的大力支持，三大主題展區(qū)，六大領(lǐng)域，將集中展示各鏈條關(guān)鍵環(huán)節(jié)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)，將打造化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的標(biāo)桿性展會。助力打造全球化合物半導(dǎo)體平臺、技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的燈塔級盛會，集中展示化合物半導(dǎo)體上下游全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品，搭建企業(yè)發(fā)布年度新產(chǎn)品新技術(shù)的首選平臺，支撐產(chǎn)業(yè)鏈及中部地區(qū)建設(shè)具有全球影響力的萬億級光電子信息產(chǎn)業(yè)集群。
北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高端裝備制造企業(yè)，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備(Chiller)、晶圓傳片設(shè)備(Sorter/EFEM)、半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber)等專用設(shè)備，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、LCD等領(lǐng)域。2023年11月29日在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，股票簡稱為京儀裝備，股票代碼為688652。
產(chǎn)品介紹
晶圓傳片設(shè)備(Sorter)
晶圓傳片設(shè)備(Sorter)是集成電路制造過程中不可或缺的設(shè)備之一，主要由潔凈大氣機(jī)械手、晶圓載物臺 (Load port)、晶圓對準(zhǔn)器(Aligner)、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和超潔凈運(yùn)行空間組成，可以執(zhí)行分批\合批\排序\倒片等傳片、讀取Wafer ID、對齊Notch 口、讀\寫 FOUP ID、晶圓翻轉(zhuǎn)等任務(wù)組合，可接入工廠的自動化系統(tǒng)與天車、Stocker對接實現(xiàn)全自動化運(yùn)行。
半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備 (Chiller)
半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備 (Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。研發(fā)人員在常規(guī) PID 控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，顯著地提高了Chiller 的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
單通道系列Single channel series
型號：V101
核心特點：優(yōu)異低溫性能；
節(jié)能控制技術(shù)；
智能控制方案
雙通道系列Dual channel series
型號：V201
核心特點：優(yōu)異低溫性能；
節(jié)能控制技術(shù)；
智能控制方案
雙通道系列Dual channel series
型號：V200
核心特點：滿足切換控溫需求，快速響應(yīng)；
優(yōu)異的低溫性能；
具有液位平衡功能；
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
三通道系列Triple channel series
型號：B-830TC
核心特點：三通道整合，達(dá)到空間的高效利用；
優(yōu)化系統(tǒng)傳熱設(shè)計，節(jié)省循環(huán)液使用量；
深化性能開發(fā)，匹配先進(jìn)刻蝕工藝需求；
具有液位平衡功能
三通道系列Triple channel series
型號：T320
核心特點：滿足混合控溫需求，快速響應(yīng)；
具有自動purge功能；
具有液位平衡功能；
兩次閉環(huán)節(jié)能控制
面板系列Panel series
型號：S301
核心特點：滿足相關(guān)工藝三通道需求；
兩級閉環(huán)節(jié)能控制；
具有自動補(bǔ)液功能
面板系列Panel series
型號：H110
核心特點：滿足大流量大負(fù)載需求；
冷卻水自動調(diào)節(jié)；
兩級閉環(huán)節(jié)能控制;
具有自動補(bǔ)液功能
半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備（Local Scrubber）
半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備是為半導(dǎo)體、液晶面板等行業(yè)中所產(chǎn)生的有毒害化學(xué)品提供一個可控制的氣體處理環(huán)境。針對不同化學(xué)品的化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)選用不同形式的處理方式進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)或物理吸附等，以達(dá)到綠色環(huán)保等級的處理效率和排放標(biāo)準(zhǔn)。我司對半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備具備獨(dú)立的研發(fā)技術(shù)能力，能夠為每一位客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。
產(chǎn)品特點：符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
大量的市場裝機(jī)容量
產(chǎn)品維護(hù)方便快捷
多種可選配置，給客戶提供更多選擇
等離子水洗式產(chǎn)品系列Plasma Wet Type
型號Kylin PW系列
適用制程
適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行業(yè)
對全氟化碳(PFC)氣體處理的效果卓越
全新系統(tǒng)設(shè)計
等離子弧火焰超過3000℃，可以高效處理PFC氣體
低耗電量，等離子電源能耗可根據(jù)應(yīng)用制程進(jìn)行調(diào)節(jié)
可供選擇的功能模塊
循環(huán)水冷卻模塊，降低新水消耗
粉塵自清潔模塊，預(yù)防粉塵堵塞
氮氧化物處理模塊，實現(xiàn)氮氧化物排放可控
可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)
PLC安全互鎖系統(tǒng)，煙感，漏液偵測等傳感器的使用，保證設(shè)備安全運(yùn)行；
部件模塊化設(shè)計，便于拆裝維護(hù)
高利用效率
高流量以及多進(jìn)口設(shè)計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
雙腔燃燒水洗式產(chǎn)品系列Burn Wet Type-Dual System
型號：Kylin DB 系列
適用制程
適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行業(yè)
全新系統(tǒng)設(shè)計
采用燃燒水洗式雙腔設(shè)計，2+2or 3+3 inlet可支持多個工藝腔體連接。雙腔功能，單腔切換，獨(dú)立工作，相互之間無影響
氣體處理量400+400slm/800+800slm,CDA與02版本滿足不同氣體處理量需求
燃燒反應(yīng)腔
可自身/雙機(jī)互備，提供更多互備方案選擇，實現(xiàn)資源利用最大化
支持Process Mode/Idle Mode 多個模式可選降低能耗
可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)
部件模塊化設(shè)計及靈活的維護(hù)空間便于拆裝
PLC安全互鎖系統(tǒng)，煙感，漏液偵測等傳感器的使用，保證設(shè)備安全運(yùn)行；
高利用效率
高流量以及多進(jìn)口設(shè)計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
電加熱水洗式產(chǎn)品系列Thermal Wet Type
型號：Kylin TW 系列
使用制程
適用于半導(dǎo)體制程(CVD/PVD/DIFF)
全新系統(tǒng)設(shè)計
采用水洗-加熱-水洗的三位一體處理結(jié)構(gòu)設(shè)計，延長設(shè)備維護(hù)周期
多模塊選配-自動旁通閥模塊、腔體粉塵自清潔模塊、循環(huán)水冷卻模塊
電加熱反應(yīng)腔
可調(diào)節(jié)的加熱溫度區(qū)間提高了控制廢氣處理溫度的靈活性
獨(dú)立的加熱棒設(shè)計提高熱效率，并易更換
“Top-Down”結(jié)構(gòu)預(yù)防粉塵堆積
可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)
設(shè)備各部件模塊化設(shè)計便于設(shè)備維護(hù)
PLC設(shè)計完備的安全互鎖系統(tǒng)保證設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行
高利用效率
高流量以及多進(jìn)口設(shè)計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
單腔燃燒水洗式產(chǎn)品系列Burn Wet Type-Single System
型號：Kylin BW 系列
適用制程
適用于半導(dǎo)體制（CVD/PVD/ETCH/DIFF）以及光伏、面板或LED行業(yè)
全新系統(tǒng)設(shè)計
采用燃燒水洗式結(jié)構(gòu)設(shè)計，多進(jìn)口可支持多個工藝腔體連接
氣體處理量400slm/800slm，CDA與02版本滿足不同氣體處理量需求
燃燒反應(yīng)腔
火焰系統(tǒng)防風(fēng)設(shè)計保證火焰燃燒穩(wěn)定
支持 Process Mode/Idle Mode多個模式可選，降低能耗
可維護(hù)性、安全性增強(qiáng)
部件模塊化設(shè)計及靈活的維護(hù)空間便于拆裝
PLC安全互鎖系統(tǒng)，煙感，漏液偵測等傳感器的使用，保證設(shè)備安全運(yùn)行；
高利用效率
高流量以及多進(jìn)口設(shè)計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
值此之際，我們誠邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會，蒞臨展位現(xiàn)場參觀交流、洽談合作。
關(guān)于JFSC&CSE 2024
