2024年10月28日,T/CASAS 036—202X《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨構(gòu)件純度測定 輝光放電質(zhì)譜法》、T/CASAS 048—202X《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》等2項技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)已形成委員會草案(CD),2項標(biāo)準(zhǔn)委員會草案按照第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASAS)標(biāo)準(zhǔn)制定程序,反復(fù)斟酌、修改、編制而成。起草組召開了多次正式或非正式的專題研討會,得到了很多CASAS正式成員的支持。請聯(lián)盟標(biāo)委會正式成員關(guān)注秘書處郵件。
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